半導体セラミックス - カスタム製造

セラミックアームの概要

製造プロセスでは高い精度と耐久性が求められるため、半導体業界ではコンポーネントの製造に高度な技術材料が使用されています。 テクニカル セラミックは、高い耐摩耗性と化学的慣性を備え、また、所望の精度を達成するために超精密機械加工できるため、理想的な選択肢です。 アルミナ セラミックから作られたセラミック半導体部品を使用すると、優れた部品品質を実現し、顧客に最高品質の半導体部品を提供できます。 最小公差0.001mm、最小表面粗さRa0.1μmという業界トップクラスの精度管理レベルを実現しています。 表面接触が少ないため、ウェーハの形状に悪影響を与えるリスクが軽減されます。

利用可能な素材

※緻密質セラミックス・多孔質セラミックス

※アルミナ（Al2O3アルミナ）、純度：95%、96%、97%、98%、99%、99.5%、99.7%、99.9%、99.99%

※ジルコニアはアルミナを強化します

※ジルコニア(ZrO2、ジルコニア)、YSZ(イットリウム安定化ジルコニア)

※窒化ケイ素（Si3N4）、炭化ケイ素（SiC）

FOUNTYL Technologies PTE Ltd. は、セラミック シート、チューブ、ロッド、さまざまな形状のカスタム部品など、アプリケーションのニーズを満たす高度な技術セラミック材料を使用して製造されたセラミック部品を提供します。 どの材料があなたの用途に適しているかわからないですか? 上のガイドをクリックして表示するか、直接お問い合わせください。喜んでお手伝いさせていただきます。

セラミックアームの特徴

※ 高い耐摩耗性

※耐酸化性、耐食性に優れています。

※低熱膨張

※高耐久性

※高硬度・高剛性

※電気絶縁性

当社は世界の半導体業界の顧客にサービスを提供しています。 半導体セラミック部品は通常非標準であり、顧客の要件に応じて製造できます。

カスタム生産

セラミック製の腕/爪/指:

半導体電化製品の内部には化学製品が多く使用されており、機械式電気製品で生産された製品は洗浄のために次の場所に移送できる必要があり、機械式アームがこの製品です。 ロボットアーム製品の生化学反応を妨げる化学薬品の配合を避けるために、多くのメーカーはセラミック製のロボットアームを使用し始めています。 ロボット アームは、半導体ウェーハを処理し、異なる位置間で移動させます。 これは基本的にロボットハンドであるため、熱安定性と寸法安定性が重要であり、粒子や化学汚染物質がチャンバーを汚染することはできません。

この用途では、アルミナ金属ではなく酸化アルミナセラミックを使用する主な利点として、剛性と高強度が挙げられます。これは、ロボットアームがアルミナよりも早く最終位置に固定されることを意味します。 また、ロボット自体の動作が高速化することで位置決め精度が最適化され、効率が向上します。 ロボット工学において、エンドエフェクターは、ロボット アームの端に取り付けられるデバイスまたはコンポーネントです。 エンドエフェクターの構造、ドライブのプログラミングとハードウェアの性質は、目的のタスクによって異なります。

ロボット アームは、補助ハードウェアやプログラミングを変更することなく、一部のエンドエフェクター タスク モードにのみ適応できます。 たとえば、グリッパーを直接ドライバービットに置き換えて良好な結果を期待することは不可能です。 クランプ力ではなくトルクを促進するには、ロボット コントローラーのプログラミングを変更し、異なるセットのエンドエフェクター モーターを使用する必要がありました。 その後、グリッパーをヘッドドライバーと交換できます。

セラミックエンドエフェクター仕様:

標準的なパドルとフォークのデザイン

真空と非真空

高温耐性

耐薬品性

耐久性と信頼性

セラミックアーム

別名：セラミックフィンガー

材質：アルミナ99.5%

色: ホワイト

公差：0.01mm

平面度：O.O5

業種: 半導体/ソーラーウェーハ