Kerámia robotkar alkalmazása
A vég effektor (kerámia mechanikus kar) alkotja a robotkar tetejét, és a félvezető lapkákat pozíciók között dolgozza fel és mozgatja. Ez alapvetően egy robotkéz, ezért fontos a hőstabilitása és a méretstabilitása, és nem engedi, hogy részecskék vagy vegyi szennyeződések beszennyezzék a helyiséget.
A Fountyl Technologies PTE Ltd professzionális félvezető kerámia karokat gyárthat a funkcionalitás javítása, az ostyák/üvegpanelek sérülésének csökkentése és a szennyeződés terjedésének megakadályozása érdekében. A kerámia kar kiválóan ellenáll a magas hőmérsékletnek. A kerámia kezelőkart gyakran használják magas hőmérsékletű környezetben. A kerámia kar jobb kopásállósággal rendelkezik, mint a fém kar. A kerámia kezelőkar keménysége (Mohs keménység) 9, HRA 80-90-ig. A kerámia kezelőkar keménysége nem csak a gyémánt mögött áll, hanem messze meghaladja az acél és a krómacél kopásállóságát.
A Fountyl kerámia robotkarokat kínál, amelyek főként a következőkre oszthatók: szorító típus, nehéz csapágy típus, vákuum adszorpciós típus. A támasztó kerámia anyagok a következők: alumínium-oxid, cirkónium-oxid, szilícium-nitrid, szilícium-karbid és így tovább. Méret: 2", 4", 6", 8", 12", nem szabványos méret testreszabható.
99,5%-os kerámia mechanikus kar nagy szilárdságú félvezetőkhöz, alumínium-oxid kerámia végkiegyenlítő és kerámia karok kiváló szilárdsággal, merevséggel, kopásállósággal, elektromos ellenállással, magas hőstabilitással, nagy korrózióállósággal és könnyű súlyúak. Ezek alkotják a robotkar végét a félvezető lapkák nagyobb hatékonyságú és pontosabb kezelésére és mozgatására. A félvezetőiparban használt alumínium-oxid kerámiák nagy tisztaságúak, alacsony fémnyomtartalommal és erős dielektromos tulajdonságokkal rendelkeznek, amelyek a CVD, PVD és plazmamaratások folyamatkamrájának anyagát képezhetik, valamint a folyamat belső felületét is képezhetik. A Fountyl vezető műszaki kerámiagyártó, amely a félvezetőipart szolgálja ki precíziós egyedi gyártással.
karakter
• Nagy pontosságú
• Magas oxidáció- és kopásállóság
• Magas hő- és korrózióállóság
• Magas elektromos szigetelés
• Magas termikus stabilitás
• Nagy keménység és merevség
A Fountyl a félvezető kerámia alkatrészek speciális gyártója, amely különböző specifikációjú kerámia alkatrészeket gyárt paraméterek vagy rajzok szerint.