Toepassing van keramische robotarm

De eindeffector (keramische mechanische arm) vormt de bovenkant van de robotarm en verwerkt en verplaatst halfgeleiderwafels tussen posities. Het is eigenlijk een robothand, dus de thermische stabiliteit en dimensionale stabiliteit zijn belangrijk, en hij laat geen deeltjes of chemische verontreinigingen de kamer vervuilen.

Fountyl Technologies PTE Ltd kan professionele keramische halfgeleiderarmen vervaardigen om de functionaliteit te verbeteren, schade aan wafers/glaspanelen te verminderen en de verspreiding van besmetting te voorkomen. De keramische hanteringsarm heeft een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen. Keramische handlingarm wordt vaak gebruikt in omgevingen met hoge temperaturen. Keramische hanteringsarm heeft een betere slijtvastheid dan metalen hanteringsarm. Keramische handlingarmhardheid (Mohs-hardheid) tot 9, HRA 80-90. De hardheid van de keramische hanteringsarm komt niet alleen op de tweede plaats na die van diamant, maar overtreft ruimschoots de slijtvastheid van staal en chroomstaal.

Fountyl biedt keramische robotarmen aan, voornamelijk onderverdeeld in: klemtype, zwaar lagertype, vacuümadsorptietype. Ondersteunende keramische materialen zijn: aluminiumoxide, zirkoniumoxide, siliciumnitride, siliciumcarbide enzovoort. Grootte: 2", 4", 6", 8", 12", niet-standaard formaat kan worden aangepast.

99,5% keramische mechanische arm voor halfgeleiders met hoge sterkte, aluminiumoxide keramische eindeffector en keramische armen hebben uitstekende sterkte, stijfheid, slijtvastheid, elektrische weerstand, hoge thermische stabiliteit, hoge corrosieweerstand en lichtgewicht. Ze vormen het uiteinde van de robotarm voor het met grotere efficiëntie en precisie hanteren en verplaatsen van halfgeleiderwafels. Aluminiumoxide-keramiek dat in de halfgeleiderindustrie wordt gebruikt, heeft een hoge zuiverheid, een laag gehalte aan sporenmetaal en sterke diëlektrische eigenschappen, die het proceskamermateriaal van CVD-, PVD- en plasma-etsen kunnen vormen, en ook het interne procesoppervlak kunnen vormen. Fountyl is een toonaangevende fabrikant van technische keramiek die de halfgeleiderindustrie bedient met precisieproductie op maat.

Karakter

• Hoge precisie

• Hoge oxidatie- en slijtvastheid

• Hoge hitte- en corrosiebestendigheid

• Hoge elektrische isolatie

• Hoge thermische stabiliteit

• Hoge hardheid en stijfheid

Fountyl is een gespecialiseerde fabrikant van keramische halfgeleideronderdelen, die keramische onderdelen met verschillende specificaties vervaardigt volgens parameters of tekeningen.