세라믹 로봇팔 적용

엔드 이펙터(세라믹 기계 팔)는 로봇 팔의 상단을 형성하고 위치 간에 반도체 웨이퍼를 처리하고 이동합니다. 기본적으로 로봇손이므로 열안정성과 치수안정성이 중요하며, 입자나 화학적 오염물질이 실내를 오염시키지 않습니다.

Fountyl Technologies PTE Ltd는 기능성을 향상시키고, 웨이퍼/유리 패널의 손상을 줄이며, 오염 확산을 방지하기 위해 전문적인 반도체 세라믹 암을 제조할 수 있습니다. 세라믹 핸들링 암은 고온 저항이 뛰어납니다. 세라믹 핸들링 암은 고온 환경에서 자주 사용됩니다. 세라믹 핸들링 암은 금속 핸들링 암보다 내마모성이 우수합니다. 세라믹 핸들링 암 경도(모스 경도) 최대 9,HRA 80-90. 세라믹 핸들링 암의 경도는 다이아몬드 다음으로 높을 뿐만 아니라 강철과 크롬강의 내마모성을 훨씬 뛰어넘습니다.

Fountyl은 주로 클램핑 유형, 무거운 베어링 유형, 진공 흡착 유형으로 구분되는 세라믹 로봇 암을 제공합니다. 지원되는 세라믹 재료는 알루미나, 지르코니아, 질화규소, 탄화규소 등입니다. 크기: 2", 4", 6", 8", 12", 비표준 크기를 사용자 정의할 수 있습니다.

99.5% 고강도 반도체용 세라믹 기계식 암, 알루미나 세라믹 엔드 이펙터 및 세라믹 암은 강도, 강성, 내마모성, 전기 저항성, 높은 열 안정성, 높은 내식성 및 경량성이 우수합니다. 이는 보다 효율적이고 정밀하게 반도체 웨이퍼를 처리하고 이동하기 위한 로봇 팔의 끝 부분을 형성합니다. 반도체 산업에 사용되는 알루미나 세라믹은 순도가 높고 미량 금속 함량이 낮으며 유전 특성이 강하여 CVD, PVD 및 플라즈마 에칭의 공정 챔버 재료를 형성할 수 있으며 내부 공정 표면도 형성할 수 있습니다. Fountyl은 정밀 맞춤형 제조를 통해 반도체 산업에 서비스를 제공하는 선도적인 기술 세라믹 제조업체입니다.

성격

• 높은 정밀도

• 높은 산화 및 내마모성

• 높은 내열성 및 내식성

• 높은 전기 절연성

• 높은 열 안정성

• 높은 경도와 강성

Fountyl은 매개변수나 도면에 따라 다양한 사양의 세라믹 부품을 제조하는 반도체 세라믹 부품 전문 제조업체입니다.