Anwendung eines keramischen Roboterarms

Der Endeffektor (mechanischer Keramikarm) bildet die Oberseite des Roboterarms und bearbeitet und bewegt Halbleiterwafer zwischen Positionen. Da es sich im Grunde um eine Roboterhand handelt, sind ihre thermische Stabilität und ihre Dimensionsstabilität wichtig, und sie verhindert, dass Partikel oder chemische Verunreinigungen den Raum verunreinigen.

Fountyl Technologies PTE Ltd kann professionelle Halbleiterkeramikarme herstellen, um die Funktionalität zu verbessern, Schäden an Wafern/Glasplatten zu reduzieren und die Ausbreitung von Verunreinigungen zu verhindern. Der Keramik-Handhabungsarm weist eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit auf. Keramik-Handhabungsarme werden häufig in Umgebungen mit hohen Temperaturen eingesetzt. Der Handhabungsarm aus Keramik weist eine bessere Verschleißfestigkeit auf als der Handhabungsarm aus Metall. Keramik-Handhabungsarmhärte (Mohs-Härte) bis zu 9, HRA 80–90. Die Härte des Keramik-Handhabungsarms ist nicht nur Diamant überlegen, sondern übertrifft die Verschleißfestigkeit von Stahl und Chromstahl bei weitem.

Fountyl bietet Keramik-Roboterarme an, die hauptsächlich in folgende Kategorien unterteilt sind: Klemmtyp, Typ mit schwerem Lager, Typ mit Vakuumadsorption. Unterstützende Keramikmaterialien sind: Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumnitrid, Siliziumkarbid und so weiter. Größe: 2 Zoll, 4 Zoll, 6 Zoll, 8 Zoll, 12 Zoll, nicht standardmäßige Größen können angepasst werden.

Mechanischer Arm aus 99,5 % Keramik für hochfeste Halbleiter, Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor und Keramikarme zeichnen sich durch hervorragende Festigkeit, Steifigkeit, Verschleißfestigkeit, elektrischen Widerstand, hohe thermische Stabilität, hohe Korrosionsbeständigkeit und geringes Gewicht aus. Sie bilden das Ende des Roboterarms für die effizientere und präzisere Handhabung und Bewegung von Halbleiterwafern. In der Halbleiterindustrie verwendete Aluminiumoxidkeramik weist eine hohe Reinheit, einen geringen Spurenmetallgehalt und starke dielektrische Eigenschaften auf, die das Prozesskammermaterial für CVD, PVD und Plasmaätzen sowie die interne Prozessoberfläche bilden können. Fountyl ist ein führender Hersteller technischer Keramik, der die Halbleiterindustrie mit präziser kundenspezifischer Fertigung beliefert.

Charakter

• Hohe Präzision

• Hohe Oxidations- und Verschleißfestigkeit

• Hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit

• Hohe elektrische Isolierung

• Hohe thermische Stabilität

• Hohe Härte und Steifigkeit

Fountyl ist ein spezialisierter Hersteller von Halbleiterkeramikteilen, der Keramikteile unterschiedlicher Spezifikationen gemäß Parametern oder Zeichnungen herstellt.