Применение керамического роботизированного манипулятора
Конечный эффектор (керамическая механическая рука) образует верхнюю часть роботизированной руки и обрабатывает и перемещает полупроводниковые пластины между позициями. По сути, это роботизированная рука, поэтому ее термическая стабильность и стабильность размеров важны, и она не позволит частицам или химическим загрязнителям загрязнять комнату.
Fountyl Technologies PTE Ltd может производить профессиональные полупроводниковые керамические рычаги для повышения функциональности, уменьшения повреждения пластин/стеклянных панелей и предотвращения распространения загрязнений. Керамический манипулятор обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам. Керамический манипулятор часто используется в условиях высоких температур. Керамический манипулятор имеет лучшую износостойкость, чем металлический манипулятор. Твердость керамического манипулятора (твердость по шкале Мооса) до 9,HRA 80-90. Твердость керамического манипулятора не уступает только алмазу, но значительно превосходит износостойкость стали и хромистой стали.
Компания Fountyl предлагает керамические манипуляторы роботов, которые в основном подразделяются на: зажимного типа, тяжелого подшипникового типа и вакуумно-адсорбционного типа. Вспомогательными керамическими материалами являются: оксид алюминия, цирконий, нитрид кремния, карбид кремния и так далее. Размер: 2", 4", 6", 8", 12", нестандартный размер можно настроить.
Механический рычаг из 99,5% керамики для высокопрочных полупроводников, концевой эффектор из глиноземной керамики и керамические рычаги обладают превосходной прочностью, жесткостью, износостойкостью, электрическим сопротивлением, высокой термостабильностью, высокой коррозионной стойкостью и легким весом. Они образуют окончание роботизированной руки для манипуляций и перемещения полупроводниковых пластин с большей эффективностью и точностью. Керамика из глинозема, используемая в полупроводниковой промышленности, имеет высокую чистоту, низкое содержание микроэлементов и сильные диэлектрические свойства, что позволяет формировать материал технологической камеры для CVD, PVD и плазменного травления, а также формировать внутреннюю технологическую поверхность. Fountyl — ведущий производитель технической керамики, обслуживающий полупроводниковую промышленность с помощью точного индивидуального производства.
Характер
• Высокая точность
• Высокая стойкость к окислению и износу.
• Высокая термостойкость и устойчивость к коррозии.
• Высокая электрическая изоляция.
• Высокая термическая стабильность
• Высокая твердость и жесткость
Fountyl является специализированным производителем полупроводниковых керамических деталей, производящим керамические детали различных характеристик в соответствии с параметрами или чертежами.