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반도체용 PEEK 부품
정전기 방지 및 높은 탄성 계수를 지닌 PEEK 소재
고정밀 탄화규소 가이드 레일은 나노 스케일 모션 플랫폼에 사용됩니다.
고정밀 스핀들에는 고정밀 탄화규소 사각 빔이 사용됩니다.
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지르코니아 세라믹 ZrO2
질화규소 세라믹 Si3N4
탄화규소 세라믹 SiC
질화알루미늄 세라믹 AlN
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반도체 제조 공정에 적용되는 정전기 척
2023년 12월 21일
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