집
제품
0102030405
맞춤형으로 호환성, 고밀도, 높은 구조강도를 갖춘 정전척
특징
호환성 | 맞춤화 | 고밀도 | 높은 구조적 강도 | 빠른 배달 시간 | 비용 효율적
응용
론이식 | 박막 | 에칭 | 공정개발 | 장비 설계
설계 및 제조
실제 성능 검증, 재생 및 수리, 개발 및 설계 검증을 위해 납품된 12인치 Fab입니다.
반도체 및 집적 회로의 공정 장비 및 공정 기술 개발로 인해 유기 고분자 재료, 금속 산화물 및 세라믹 재료를 유전체로 사용하는 기존의 정전척은 실리콘 웨이퍼, 사파이어 및 실리콘 카바이드와 같은 재료와 완전히 호환되지 않습니다. 따라서 1세대, 2세대, 3세대 반도체 웨이퍼 그리퍼와 호환되는 정전척이 점차 개발될 것이다.
폴리머 정전척/히터
고분자 유전체 재료(폴리머)는 현재 가장 널리 사용되는 정전 척 재료이며, 그 준비 공정도 가장 성숙되어 있으며, 고분자 변형 처리 후 고분자 유전체 재료, 전기적, 기계적, 온도 저항, 할로겐 저항 특성이 크게 향상됩니다. 기타 집적 공정을 통해 유전체를 패터닝한 후 다단 진공 고하중으로 적층하여 내부전극 사이에 치밀한 유전체 절연층을 형성한다.
폴리머 정전 척
폴리머 개질 기술은 더 높은 벌크 저항률과 비유전율을 달성하고 보다 안정적인 클램핑력을 얻기 위해 사용됩니다.
고밀도 유전체 재료는 입자상 물질의 위험을 줄이고 이온 이동성을 감소시킬 수 있습니다.
클램핑 대상의 다양성은 다양한 재료의 웨이퍼 클램핑과 호환될 수 있습니다.
할로겐 및 플라즈마 분위기에서 내식성이 우수합니다.
높은 비용 성능, 짧은 수용 기간, 제품 프로세스 개발 및 새로운 장비 개발 검증에 적합합니다.
히터가 있는 폴리머 정전기 척
다중 가열 온도 영역(최대 20개 온도 영역)의 레이아웃을 실현할 수 있으며 가열 온도 균일성이 우수합니다(±5%℃@150℃).
진공 라미네이팅 기술을 사용하여 극도로 높은 밀도와 최대 200°C의 가열 온도를 달성합니다.
더 넓은 범위의 온도 곡선 설정으로 균일한 가열 곡선.
높은 비용 성능, 짧은 수용 기간, 제품 프로세스 개발 및 새로운 장비 개발 검증에 적합합니다.
세라믹 정전척/히터
세라믹 응고 기술은 알루미나/질화알루미늄 세라믹 정전 척 및 히터 개발 시 개선된 소결 공정입니다. 그 핵심은 나노미터 직경의 다양한 세라믹 분말을 독특한 혼합 장비와 혼합 공정을 통해 일정 비율로 혼합하는 것입니다. 고밀도, 안정적인 결정 구조 및 균일한 저항률 분포를 갖는 세라믹 정전척을 소결 장비에서 특정 소결 온도 곡선으로 소결했습니다. 세라믹 응고 기술로 제조된 정적 척은 밀도가 높고 안정적인 결정 구조와 균일한 체적 저항률 분포를 가지며 고진공, 플라즈마 및 할로겐 하의 가혹한 환경에서도 칩의 정상적인 클램핑 기능을 실현할 수 있습니다.
Al₂O₃ 정전척
더 긴 유지력을 얻기 위해 응고 세라믹 기술과 동시 소성 공정을 통해 체적 저항률을 제어합니다.
고온 소결의 내부 구조는 조밀하고 결정 구조는 안정적이며 더 큰 온도 간격의 유지 용량을 얻을 수 있습니다.
통합된 동시 소성 성형으로 이온 이동이 줄어듭니다.
플라즈마 할로겐 진공 분위기에서 지속적인 작동.
AlN 정전척
콘크리트 재료의 조성과 비율을 조절함으로써 체적 저항률을 조절할 수 있고 더 넓은 온도 간격에서 유지 능력을 얻을 수 있습니다.
콘크리트 세라믹의 소결 기술과 동시소성 공정을 통해 균일한 온도대 분포가 보장됩니다.
동시소성 성형을 통합하여 제품 품질을 극대화합니다.
플라즈마 할로겐 진공 분위기에서 지속적인 작동.
히터가 있는 세라믹 정전기 척
다중 가열 온도 구역의 레이아웃을 실현할 수 있으며 가열 온도 균일성이 우수합니다(±7.5%℃@350℃).
진공 라미네이팅 소결 기술을 사용하여 극도로 높은 치밀화와 최대 550℃의 가열 온도를 달성합니다.
동시소성 성형을 통합하여 제품 품질을 극대화합니다.
플라즈마 할로겐 진공 분위기에서 지속적인 작동.
복합형 정전척/히터
실리콘, 갈륨 비소, 실리콘 카바이드, 웨이퍼 클램핑 사파이어와 호환 가능하며 장비 제조업체 및 최종 사용자의 와이어 변경 비용을 줄일 수 있습니다. 콘크리트 세라믹 기술과 폴리머 개질 기술을 기반으로 통합 진공 적층 및 핫 본딩 기술을 사용하면 정전 흡착기의 내부 열 저항을 줄이고 내부 온도 균일성을 달성하며 치밀한 유전체 절연층을 형성하여 이온 이동 저항 성능을 향상시킬 수 있습니다.
복합형 정전척
콘크리트 세라믹과 폴리머 개질 기술을 사용하여 구조 밀도가 높고 가스 방출이 적습니다.
유전체층과 전극 뱅크 두께를 더욱 엄격하게 제어합니다.
클램핑 대상의 다양성은 다양한 웨이퍼의 클램핑과 호환될 수 있습니다.
본체의 저항률을 정확하게 제어하여 더 강한 정전기 유지 용량을 얻을 수 있습니다.
높은 비용 성능, 짧은 수용 기간, 제품 프로세스 개발 및 새로운 장비 개발 검증에 적합합니다.
복합형 정전척(히터 포함)
다중 가열 온도 구역의 레이아웃을 실현할 수 있으며 가열 온도 균일성이 우수합니다(±3.5%℃@150℃).
진공 라미네이팅 기술을 사용하여 극도로 높은 밀도와 최대 200°C의 가열 온도를 달성합니다.
더 넓은 범위의 온도 곡선 설정으로 균일한 가열 곡선.
높은 비용 성능, 짧은 수용 기간, 제품 프로세스 개발 및 새로운 장비 개발 검증에 적합합니다.