핵심 제품

실리콘 카바이드 척(웨이퍼 클램핑이라고도 함)은 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 산업용 척으로, 고온 저항성, 내식성, 내마모성 및 기타 특성을 가지고 있습니다. 일반적으로 실리콘 카바이드 또는 알루미나 세라믹 소재로 만들어지며 표면에 융기된 점과 같은 구조가 있어 더 나은 흡착 및 안정성을 제공합니다.

프리얼라이너 척은 반도체 생산 장비에서 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 및 다양한 작업물과 재료를 흡수, 고정, 이동 및 처리하는 데 널리 사용됩니다.

링 그루브 척(그루브 척)은 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 산업용 척으로, 고온 저항성, 내식성, 내마모성 및 기타 특성을 갖추고 있습니다. 일반적으로 탄화규소 또는 알루미나 세라믹 소재로 만들어집니다.

반도체 생산 장비에서 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 및 다양한 작업물과 재료를 흡수, 고정, 이동 및 처리하는 데 널리 사용됩니다.

다공성 세라믹 척은 미세다공성 세라믹 척이라고도 하며, 특수 나노 분말 제조 공정을 통해 균일한 고체 또는 진공 본체를 생산하고, 고온 소결을 통해 소재 내부에 다수의 연결 또는 폐쇄형 세라믹 소재를 생성한 것입니다. 특수 구조로 고온 내구성, 내마모성, 내화학성, 높은 기계적 강도, 재생 용이성, 뛰어난 열충격 저항성 등의 장점을 가지고 있어 고온 여과 소재, 촉매 담체, 연료 전지의 다공성 전극, 민감 부품, 분리막, 바이오 세라믹 등에 사용 가능하며, 화학 산업, 환경 보호, 에너지, 전자, 생화학 등에서 독보적인 응용 분야 이점을 제공합니다.

높은 기능성, 고온 내구성, 높은 내마모성을 갖춘 세라믹 엔드 이펙터는 고온 환경에서 장시간 사용하더라도 손상을 일으키지 않으며, 이동되는 재료의 마모도 최소한으로 줄어들어 이동체로의 불순물 확산을 효과적으로 제어하며, 표면도 특수 치수와 높은 기능성 특성으로 고객 요구 사항에 맞게 가공할 수 있습니다.

반도체 장비의 칩 디스크 드라이브용 세라믹 엔드 이펙터, 정밀 세라믹 부품은 구조적 강도, 고온 저항성, 고압 저항성, 정밀성, 평행성, 밀도 및 균일한 조직, 고강도가 우수합니다. 수년간 반도체 생산 공장에서 사용되었습니다. Fountyl은 세라믹 외계 가공 프로젝트에서 독특하고 뛰어난 기술을 가진 뛰어난 엔지니어 그룹을 보유하고 있습니다. 외계 가공 기술은 우리 회사의 강점입니다.

실리콘 카바이드 세라믹 공기 부유 이동 플랫폼, 실리콘 카바이드 초정밀 모바일 플랫폼, 실리콘 카바이드 가이드 레일, 실리콘 카바이드 슬라이드 레일, 실리콘 카바이드 진공 흡입기, 실리콘 카바이드 미러, 실리콘 카바이드 빔, 실리콘 카바이드 작업대 및 일련의 리소그래피 기계용 정밀 실리콘 카바이드 구조 부품은 리소그래피 기계의 핵심 구성 요소 중 하나입니다. 주요 기능은 지정된 이동 궤적에 따라 웨이퍼를 운반하여 고속 초정밀 이동을 수행하고 상하, 정렬, 웨이퍼 프로파일 측정 및 노출을 포함하여 노출에 필요한 일련의 동작을 완료하는 것입니다. 고속 이동의 경우 2nm의 동작 정확도가 필요합니다.

정밀 세라믹 피스톤은 피스톤 슬리브와 피스톤 로드의 두 부분으로 구성됩니다. 수입 고순도 원료 분말을 정적 프레싱으로 성형하고 1700도 온도에서 소결한 후 정밀 가공합니다. 피스톤 슬리브와 클리어런스가 있는 피스톤 로드의 합리적인 제어는 매우 높은 정밀도이며 원통도와 테이퍼는 미크론 수준입니다.