핵심제품

웨이퍼 핀 척(볼록 척이라고도 함)은 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 산업용 척으로 고온 저항, 내식성, 내마모성 및 기타 특성을 갖추고 있습니다. 일반적으로 탄화 규소 또는 알루미나 세라믹 소재로 만들어지며 표면에 융기된 점 모양 구조가 있어 더 나은 흡착력과 안정성을 제공합니다.

볼록 척은 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 및 다양한 공작물과 재료를 흡수, 고정, 이송 및 처리하기 위해 반도체 생산 장비에 널리 사용됩니다.

링 그루브 척 (그루브 척)은 고온 저항, 내식성, 내마모성 및 기타 특성을 갖춘 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 산업용 척입니다. 일반적으로 탄화규소 또는 알루미나 세라믹 재료로 만들어집니다.

반도체 생산 장비에서 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 및 다양한 공작물과 재료를 흡수, 고정, 이송 및 처리하는 데 널리 사용됩니다.

미세다공성 세라믹 진공척은 나노 미세다공성 진공척이라고도 하는데, 이는 특수한 나노분말 제조공정을 거쳐 균일한 고체 또는 진공체를 생산하고, 고온 소결을 통해 소재 내부에 다수의 연결되거나 폐쇄된 세라믹 소재가 생성되는 것을 의미합니다. . 특수한 구조로 내열성, 내마모성, 내화학성, 높은 기계적 강도, 재생 용이성, 우수한 열충격성 등의 장점을 갖고 있어 고온 여과재, 촉매 담체, 연료의 다공성 전극에 사용할 수 있습니다. 세포, 민감한 부품, 분리막, 바이오세라믹 등은 화학 산업, 환경 보호, 에너지, 전자, 생화학 분야에서 고유한 응용 이점을 제공합니다.

고기능성, 고온 내구성, 높은 내마모성을 갖춘 세라믹 엔드 이펙터는 고온 환경에서 손상 없이 장시간 사용되며, 이동하는 재료의 마모도 최소화하여 확산을 효과적으로 제어합니다. 이동체에 불순물을 제거하고, 특수한 치수와 높은 기능적 특성으로 고객의 요구에 따라 표면 가공도 가능합니다.

반도체 장비의 칩 디스크 드라이브용 세라믹 엔드 이펙터, 정밀 세라믹 부품은 우수한 구조 강도, 고온 저항, 고압 저항, 우수한 정밀도, 우수한 평행성, 조밀하고 균일한 조직, 고강도를 갖습니다. 수년 동안 반도체 생산 공장에서 사용되어 왔습니다. Fountyl은 세라믹 외계인 처리 프로젝트에 독특하고 뛰어난 기술을 갖춘 우수한 엔지니어 그룹을 보유하고 있습니다. 외국인 처리 기술은 우리 회사의 강점입니다.

실리콘 카바이드 세라믹 에어 플로팅 이동 플랫폼, 실리콘 카바이드 초정밀 모바일 플랫폼, 실리콘 카바이드 가이드 레일, 실리콘 카바이드 슬라이드 레일, 실리콘 카바이드 진공 흡입기, 실리콘 카바이드 거울, 실리콘 카바이드 빔, 실리콘 카바이드 공작물 테이블 및 일련의 정밀 실리콘 카바이드 리소그래피 기계의 구조 부품은 리소그래피 기계의 핵심 구성 요소 중 하나입니다. 주요 기능은 웨이퍼를 운반하여 지정된 이동 궤적에 따라 고속 초정밀 이동을 수행하고 모션 정확도가 요구되는 위아래, 정렬, 웨이퍼 프로파일 측정 및 노출을 포함하여 노광에 필요한 일련의 작업을 완료하는 것입니다. 고속 이동의 경우 2nm.

정밀 세라믹 피스톤은 피스톤 슬리브와 피스톤 로드의 두 부분으로 구성됩니다. 수입된 고순도 원료분말을 정적압착, 1700도 온도에서 소결, 정밀가공하여 형성됩니다. 피스톤 슬리브와 간격이 있는 피스톤 로드의 합리적인 제어는 매우 높은 정밀도이며 원통도와 테이퍼는 미크론 수준입니다.