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Hauptprodukt
01020304
Keramischer Endeffektor (Keramikfinger, Keramikroboterarm)
Merkmale
Verschleißfestigkeit:Keramische Endeffektoren weisen eine hervorragende Verschleißfestigkeit auf und können über einen langen Zeitraum einen stabilen Oberflächenzustand aufrechterhalten.
Korrosionsbeständigkeit:Keramische Endeffektoren können in korrosiven Medien arbeiten und eine stabile Leistung aufrechterhalten.
Hohe Temperaturbeständigkeit:Der keramische Endeffektor kann in einer Umgebung mit hohen Temperaturen arbeiten und lässt sich nicht leicht verformen oder schmelzen, wodurch die Stabilität des Prozesses gewährleistet wird.
Hohe Präzision:Der Keramik-Endeffektor verfügt über eine hervorragende Dimensionsstabilität und Präzision und ermöglicht so einen hochpräzisen Betrieb.
Leicht:Im Vergleich zu Metallarmen haben Keramik-Endeffektoren in der Regel ein geringeres Gewicht, wodurch die Belastung des mechanischen Geräts verringert wird.
Im Allgemeinen spielen keramische Endeffektoren eine wichtige Rolle in der modernen Industrie und ihre hervorragende Leistung gewährleistet den effizienten und stabilen Betrieb automatisierter Prozesse.
Dienstleistungen
Bereitstellung verschiedener Präzisionskeramikprodukte entsprechend den Kundenanforderungen, einschließlich keramischer Endeffektoren für die Waferhandhabung in der Halbleiterindustrie, Zubehör für Fertigungsmaschinen, Paletten usw. Komponenten für Großfertigungsanlagen im Bereich Flüssigkristall und Solarenergie; Im Bereich elektronischer Komponenten, Rahmen, Schuppenplatten, Brennvorrichtungen, Substrate usw. kann das Material zwischen Aluminiumoxidkeramik und Siliziumkarbid gewählt werden.
Der keramische Endeffektor/Handhabungsarm ist auf einem Wafer-Handhabungsroboter oder „Endeffektor“ installiert und dient zum Transport der Siliziumwafer in oder aus einem Band- oder Prozessraum.
Die Vorteile der Verwendung von Keramik liegen in der geringeren Durchbiegung aufgrund der hohen Biegefestigkeit, der Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und der Eliminierung von Metallverunreinigungen und -partikeln.
Präzisionskeramiktabletts werden häufig zur Fixierung von Wafern und zur Handhabung von Wafern mit kleinem Durchmesser auf 8-Zoll- und 12-Zoll-Maschinen verwendet. Das Material der Keramikschale besteht hauptsächlich aus 99,6 % Aluminiumoxid und Siliziumkarbid und kann auch entsprechend den Kundenbedürfnissen und der Nutzung der Umgebung für die Entwicklung verschiedener Produkte und Materialien gestaltet werden.
Produktanwendung
Halbleiterfertigung:Keramische Endeffektoren spielen eine wichtige Rolle im Halbleiterherstellungsprozess und werden häufig zur Handhabung hochwertiger Materialien wie Siliziumwafern verwendet, um die Genauigkeit und Stabilität des Prozesses sicherzustellen.
Zerspanende Industrie:In Prozessen, die eine hochpräzise Bearbeitung erfordern, können Keramik-Endeffektoren als Werkzeuge eingesetzt werden, um Produktgenauigkeit und Oberflächenqualität sicherzustellen.
Medizinische Geräte:Keramische Endeffektoren werden häufig in chirurgischen Robotern und anderen medizinischen Geräten eingesetzt und sind aufgrund ihrer hohen Genauigkeit und Biokompatibilität eine ideale Wahl.
Chemieindustrie:Aufgrund der hervorragenden Korrosionsbeständigkeit werden keramische Endeffektoren auch in der chemischen Industrie, insbesondere in Umgebungen mit korrosiven Medien, häufig eingesetzt.