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Siliziumkarbid wird für korrosionsbeständige Teile, Dichtungsteile, hochtemperaturbeständige Teile, Führungsschienen und quadratische Träger verwendet
Besonders geeignet sind Siliziumkarbidkeramiken bei Normaltemperatur mit hervorragenden mechanischen Eigenschaften wie hoher Festigkeit, hoher Härte, hohem Elastizitätsmodul, ausgezeichneter Hochtemperaturstabilität wie hoher Wärmeleitfähigkeit, niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten sowie guter spezifischer Steifigkeit und optischen Verarbeitungseigenschaften zur Vorbereitung von Fotolithografiemaschinen und anderen integrierten Schaltkreisgeräten für Präzisionskeramikbauteile. Wie in der Fotolithographiemaschine verwendet, präzise bewegliche Werkstücktische, Skelette, Saugnäpfe, wassergekühlte Platten und Präzisionsmessspiegel, Gitter und andere keramische Strukturteile, Fountyl neues Material nach Jahren der technischen Forschung, lösen die große Größe, dünne Wand, Probleme bei der Präzisionsverarbeitung und -vorbereitung bei hohlen und anderen komplexen Strukturen von Siliziumkarbid-Strukturteilen, wodurch der technische Engpass dieser Art von Technologie zur Herstellung von Präzisions-Siliziumkarbid-Strukturteilen überwunden wird. Es hat die Lokalisierung wichtiger Strukturteile, die in Geräten zur Herstellung integrierter Schaltkreise verwendet werden, erheblich vorangetrieben.
● Siliziumkarbidkeramik umfasst hauptsächlich drucklos gesintertes Siliziumkarbid (SSiC), reaktionsgesintertes Siliziumkarbid (RBSC) und chemisches Gasphasenabscheidungssiliziumkarbid (CVD-SiC).
● Siliziumkarbid hat eine Vielzahl hervorragender Eigenschaften: superhart, Verschleißfestigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit und mechanische Festigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient, ausgezeichnete thermische Stabilität, niedrige Dichte, hohe spezifische Steifigkeit, nicht magnetisch.
● Derzeit werden Siliziumkarbidkeramiken in verschiedenen Branchen wie der Luft- und Raumfahrt sowie der Nuklearindustrie eingesetzt, beispielsweise als Keramikteile von High-End-Geräten für die Herstellung von Siliziumkarbid-Keramikreflektoren und integrierten IC-Schaltkreisen, Wärmetauschern und kugelsicheren Materialien unter extremen Bedingungen.
Merkmale von Präzisionskeramikbauteilen für Anlagen zur Herstellung integrierter Schaltkreise:
① Sehr leicht: Um die Bewegungsträgheit zu reduzieren, die Motorlast zu reduzieren, die Bewegungseffizienz, Positionierungsgenauigkeit und Stabilität zu verbessern, verwenden die Strukturteile im Allgemeinen eine Leichtbaukonstruktion, der Leichtbauanteil beträgt 60-80 %, bis zu 90 %;
② Hohe Form-Positionsgenauigkeit: Um eine hochpräzise Bewegung und Positionierung zu erreichen, müssen die Strukturteile eine extrem hohe Form- und Positionsgenauigkeit aufweisen, die Ebenheit, Parallelität und Rechtwinkligkeit müssen weniger als 1 μm betragen und die Form und Die Positionsgenauigkeit muss weniger als 5 μm betragen.
③ Hohe Dimensionsstabilität: Um eine hochpräzise Bewegung und Positionierung zu erreichen, müssen die Strukturteile eine extrem hohe Dimensionsstabilität aufweisen, keine Spannungen erzeugen, eine hohe Wärmeleitfähigkeit und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen und nicht leicht zu großen Dimensionsverformungen führen ;
④ Sauber und schadstofffrei. Die Strukturteile müssen einen extrem niedrigen Reibungskoeffizienten, einen geringen kinetischen Energieverlust während der Bewegung und keine Verschmutzung durch Schleifpartikel aufweisen. Siliziumkarbidmaterial hat einen sehr hohen Elastizitätsmodul, eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, ist nicht leicht zu Biegespannungsverformungen und thermischen Spannungen zu erzeugen und verfügt über eine ausgezeichnete Polierbarkeit, kann zu einem hervorragenden Spiegel bearbeitet werden; Daher hat es große Vorteile, Siliziumkarbid als Präzisionsstrukturmaterial für die Schlüsselausrüstung integrierter Schaltkreise wie Fotolithographiemaschinen zu verwenden. Siliziumkarbid hat die Vorteile einer guten chemischen Stabilität, einer hohen mechanischen Festigkeit, einer hohen Wärmeleitfähigkeit und eines niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten. und kann bei hohen Temperaturen, hohem Druck, Korrosion und Strahlung in extremen Umgebungen eingesetzt werden.
Siliziumkarbid hat die Vorteile einer guten chemischen Stabilität, einer hohen mechanischen Festigkeit, einer hohen Wärmeleitfähigkeit und eines niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und kann bei hohen Temperaturen, hohem Druck, Korrosion und Strahlung in extremen Umgebungen eingesetzt werden.
Die Schlüsselausrüstung integrierter Schaltkreise erfordert, dass die Komponentenmaterialien die Eigenschaften von geringem Gewicht, hoher Festigkeit, hoher Wärmeleitfähigkeit und niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen und dicht und gleichmäßig ohne Mängel sind. Komponenten müssen eine extrem hohe Maßgenauigkeit und Formstabilität aufweisen, um eine hochpräzise Bewegung und Steuerung der Ausrüstung zu gewährleisten. Siliziumkarbidkeramik hat einen hohen Elastizitätsmodul und eine hohe spezifische Steifigkeit, ist nicht leicht zu verformen und verfügt über eine hohe Wärmeleitfähigkeit, einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine hohe thermische Stabilität. Daher ist Siliziumkarbidkeramik ein hervorragendes Strukturmaterial, das derzeit in der Herstellung integrierter Schaltkreise verwendet wird Schlüsselausrüstung für ein breites Anwendungsspektrum, z. B. Lithografiemaschine mit Siliziumkarbid-Arbeitstisch, Führungsschiene, Reflektor, Keramikspannfutter und Keramik-Endeffektor.
Fountyl kann die Fotolithografiemaschine als Vertreter der Schlüsselausrüstung für die Herstellung integrierter Schaltkreise mit großer Größe, hohler dünner Wand, komplexer Struktur und präziser Technologie zur Vorbereitung von Siliziumkarbid-Strukturteilen kennenlernen, wie zum Beispiel: Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter, Führungsschiene, Reflektor, Arbeitstisch und eine Reihe präziser Siliziumkarbid-Strukturteile für Fotolithografiemaschinen.
| Eigenschaften | Fountyl | ||
| Dichte (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Elastizitätsmodul (GPa) | 368 | ||
| Biegefestigkeit (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| WAK (×10-6/℃) | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Wärmeleitfähigkeit (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissonzahl | 0,187 | ||
| Schermodul (GPa) | 155 | ||