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Mandril de pasador de oblea utilizado para dispositivo de exposición de semiconductores y dispositivo de inspección de oblea
Características
Resistencia a altas temperaturas:Los materiales cerámicos de carburo de silicio y alúmina tienen un excelente rendimiento a altas temperaturas, se pueden utilizar en ambientes de altas temperaturas durante mucho tiempo y no se deforman ni fracturan fácilmente.
Resistencia a la corrosión:Puede soportar una variedad de corrosión química, adecuado para manipular líquidos o gases corrosivos en el entorno de trabajo.
Resistencia al desgaste:alta dureza, con buena resistencia al desgaste, se puede utilizar durante mucho tiempo sin fallas.
Fuerte adsorción:la estructura de punto convexo reduce el área de contacto de la ventosa, aumentando así la fuerza de adsorción por unidad de área y puede adsorber más firmemente la pieza de trabajo.
Alta estabilidad:Debido a las características del material, el portabrocas tiene una alta estabilidad y puede funcionar de manera estable durante mucho tiempo.
Reducir la contaminación:Los mandriles de oblea de cerámica están evolucionando de ranuras a pasadores para reducir el área de contacto, reducir algo de contaminación y mejorar la corrección de deformaciones.
Control de procesos
Alta precisión: 12 pulgadas de diámetro, la planitud se controla dentro de 5 μm; Si necesita más precisión, envíenos un correo electrónico.
Control de forma: ajuste la forma del portabrocas de acuerdo con la forma de la oblea (control de falta de uniformidad).
Capacidad de respuesta absorbente: Diseño personalizado según especificaciones.
Nuestros servicios
La selección del portabrocas debe considerarse de acuerdo con múltiples factores, como el diámetro requerido de las ventosas, el número de puntos convexos y la forma del portabrocas, y hacer una elección adecuada según el tamaño y el peso de la adsorción. objeto y las exigencias del entorno de trabajo.
Adoptamos tecnología de mecanizado plano de precisión, implementamos un diseño creativo personalizado y proporcionamos el mejor mandril de pasador de oblea para cumplir con los estrictos requisitos de los clientes.
La forma plana del portabrocas se puede ajustar libremente según la forma de la oblea, y el área de adsorción o el patrón de clavijas se pueden personalizar para mejorar la capacidad de respuesta de la adsorción.
Material: Se puede seleccionar cerámica de óxido de aluminio o carburo de silicio, y se puede revestir la superficie con DLC y teflón.
Se están desarrollando mandriles de pasador de oblea de SiC/SSiC de alta precisión para procesos de exposición, inspección y transporte de oblea que son altamente flexibles, muy planos y extremadamente resistentes a entornos de trabajo hostiles.
Datos de prueba de precisión
Solicitud
Fijación de obleas de dispositivos de exposición a semiconductores; Fijación de obleas del dispositivo de inspección de obleas.