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Plataforma flotante de aire poroso con tecnología de transferencia de carga en modo sin contacto para la industria de semiconductores
La plataforma flotante de aire tradicional generalmente adopta tecnología de estrangulamiento de orificio pequeño, estrangulamiento toroidal o estrangulamiento de hendidura, que se caracteriza por una tecnología de procesamiento simple, pero cuando la presión del aire de suministro cambia, es fácil producir un fenómeno de silbido, el sonido es agudo y el rumbo. La capacidad también fluctúa, lo que no es adecuado para un entorno de trabajo silencioso y con presión estable.
Los sustratos de vidrio TFT-LCD tradicionales se realizan mediante brazos robóticos (Robots) y sistemas AGV (vehículos guiados automatizados). Sustrato de vidrio en el proceso de producción. Es una operación de contacto con la plataforma (o rodillo) de desplazamiento de carga. Cuando el sustrato de vidrio está en contacto con la plataforma o rodillo de desplazamiento de carga, el contacto y la fricción causan estos daños o defectos, problemas de falta de esquinas, grietas, daños, contaminación y electricidad estática en la superficie del sustrato de vidrio, y luego afectan la producción. El rendimiento y la calidad del producto, además del uso de la carga de transferencia por rotación de rodillos, todavía tienen problemas técnicos que superar. Estos problemas tienen un profundo impacto en la eficiencia de producción de sustratos de vidrio de gran tamaño y es necesario mejorarlos con urgencia. Si la tecnología de plataforma flotante aérea sin contacto puede sustituir los problemas derivados de la tecnología tradicional de desplazamiento de carga por contacto, será una solución eficaz. Ventajas del sistema de flotación de aire:
1. Fricción cero.
2. Desgaste cero.
3. Se aplican movimientos rectos y de rotación.
4. Funcionamiento silencioso y suave.
5. Mayor amortiguación.
6. Eliminar el petróleo.
La estructura de la plataforma flotante de aire está compuesta de cerámicas nanoporosas incrustadas en la base para formar una cámara de vacío. Se introduce aire comprimido limpio, sin agua y sin aceite, en el espacio del modo de aire entre la superficie del rodamiento y el riel guía flotante de aire a través de la tubería de gas. El gas fluye en el espacio del modo de aire para hacer que la superficie de apoyo flote sobre el riel guía flotante de aire. El gas actúa como lubricante para mover o transportar objetos sin fricción.
La construcción para el agujero flotante de aire común:
a) Estructura de estrangulamiento del orificio
b) Estructura porosa
El tamaño personalizado más grande: largo 1600 mm, ancho 1000 mm
El equipo de transporte y cambio de carga sin contacto tiene como objetivo principal mejorar los problemas causados por la tecnología de manipulación tradicional después de que el sustrato de vidrio se hace más grande, porque en el proceso de transporte y cambio de carga no está en contacto directo con el objeto de operación, por lo que puede evitar la ocurrencia. de contaminación, estrés, electricidad estática y daños al sustrato de vidrio. El material poroso, por otro lado, reduce significativamente el flujo de gas, logra una presión de aire uniforme y una buena distribución del colchón de aire, y proporciona la altura de flotación suficiente necesaria para la operación.