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主要製品
半導体露光装置やウエハ検査装置に使用されるウエハピンチャック
特徴
高温耐性:炭化ケイ素とアルミナセラミック材料は優れた高温性能を持ち、高温環境で長期間使用でき、変形や破損が起こりにくいです。
耐食性:さまざまな化学腐食に耐えることができ、作業環境で腐食性の液体やガスを扱うのに適しています。
耐摩耗性:硬度が高く、耐摩耗性に優れ、故障することなく長期間使用できます。
強力な吸着力：凸点構造により吸盤の接触面積が減少し、単位面積当たりの吸着力が増加し、より強固にワークを吸着することができます。
高い安定性:ウェハピンチャックは材質の特性上、安定性が高く、長時間安定した動作が可能です。
汚染を減らします：セラミック ウェーハ チャックは溝からピンに進化して、接触面積を減らし、汚染を軽減し、反り補正を改善しています。
プロセス制御
高精度: 直径 12 インチ、平面度は 5 μm 以内に制御されます。 より正確な精度が必要な場合は、メールでお問い合わせください。
形状制御：ウエハ形状に合わせてチャック形状を調整（ムラ制御）。
吸収性の応答性:仕様に応じてカスタマイズされた設計。
私たちのサービス
ウエハピンチャックの選択は、必要な吸盤径、凸部の数、チャックの形状などを総合的に考慮し、吸着物の大きさ、重量に応じて適切な選択を行ってください。対象と作業環境の要件。
精密平面加工技術を採用し、カスタムに合わせた独創的な設計を実現し、お客様の厳しい要求に応える最高のウエハーピンチャックを提供します。
ピンチャックの平面形状はウエハの形状に合わせて自由に調整でき、吸着エリアやピンパターンをカスタマイズすることで吸着応答性を向上させることができます。
材質：酸化アルミニウムセラミックスまたは炭化ケイ素から選択でき、表面にDLC、テフロンメッキも可能です。
高精度の SiC/SSiC ウェーハ ピン チャックは、柔軟性が高く、平坦性が高く、過酷な作業環境に非常に強い、ウェーハの露光、検査、搬送プロセス向けに開発されています。
精密試験データ
応用
半導体露光装置のウエハ固定。 ウエハ検査装置のウエハ固定。