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Carburo de silicio utilizado para piezas resistentes a la corrosión, piezas de sellado, piezas resistentes a altas temperaturas, rieles guía y vigas cuadradas.
Las cerámicas de carburo de silicio tienen excelentes propiedades mecánicas a temperatura normal, como alta resistencia, alta dureza, alto módulo elástico, excelente estabilidad a altas temperaturas, como alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica y buena rigidez específica y propiedades de procesamiento óptico, especialmente adecuadas. para la preparación de máquinas de fotolitografía y otros equipos de circuitos integrados para piezas estructurales cerámicas de precisión. Como los utilizados en la mesa de piezas de trabajo móvil de precisión de la máquina de fotolitografía, esqueleto, ventosa, placa refrigerada por agua y espejo de medición de precisión, rejillas y otras piezas estructurales de cerámica, el nuevo material Fountyl después de años de investigación técnica, resuelve el tamaño grande y la pared delgada. problemas de preparación y procesamiento de precisión de piezas estructurales de carburo de silicio de estructuras huecas y otras estructuras complejas, rompiendo el cuello de botella técnico de este tipo de tecnología de preparación de piezas estructurales de carburo de silicio de precisión. Ha promovido en gran medida la localización de piezas estructurales clave utilizadas en equipos de fabricación de circuitos integrados.
● Las cerámicas de carburo de silicio incluyen principalmente carburo de silicio sinterizado sin presión (SSiC), carburo de silicio sinterizado por reacción (RBSC) y carburo de silicio por deposición química de vapor (CVD-SiC).
● El carburo de silicio tiene una variedad de propiedades excelentes: súper duro, resistencia al desgaste, alta conductividad térmica y resistencia mecánica, bajo coeficiente de expansión térmica, excelente estabilidad térmica, baja densidad, alta rigidez específica, no magnético.
● En la actualidad, las cerámicas de carburo de silicio se aplican en diversas industrias, como la aviación, la aeroespacial y la nuclear, como piezas cerámicas de equipos de alta gama para reflectores cerámicos de carburo de silicio y fabricación de circuitos integrados de circuitos integrados, intercambiadores de calor y materiales a prueba de balas en condiciones extremas.
Características de las piezas estructurales cerámicas de precisión para equipos de fabricación de circuitos integrados:
① Altamente liviano: para reducir la inercia del movimiento, reducir la carga del motor, mejorar la eficiencia del movimiento, la precisión del posicionamiento y la estabilidad, las piezas estructurales generalmente utilizan un diseño de estructura liviana, la tasa de ligereza es del 60-80%, hasta el 90%;
② Alta precisión de forma y posición: para lograr un movimiento y posicionamiento de alta precisión, se requiere que las piezas estructurales tengan una precisión de forma y posición extremadamente alta, la planitud, el paralelismo y la perpendicularidad deben ser inferiores a 1 μm, y la forma y Se requiere que la precisión de la posición sea inferior a 5 μm.
③ Alta estabilidad dimensional: para lograr un movimiento y posicionamiento de alta precisión, se requiere que las piezas estructurales tengan una estabilidad dimensional extremadamente alta, no produzcan tensión y una alta conductividad térmica, un bajo coeficiente de expansión térmica, no es fácil producir una gran deformación dimensional. ;
④ Limpio y libre de contaminación. Se requiere que las piezas estructurales tengan un coeficiente de fricción extremadamente bajo, una pequeña pérdida de energía cinética durante el movimiento y ninguna contaminación por partículas abrasivas. El material de carburo de silicio tiene un módulo elástico muy alto, conductividad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica, no es fácil producir deformación por tensión de flexión y tensión térmica, y tiene una excelente capacidad de pulido, se puede mecanizar hasta obtener un espejo excelente; Por lo tanto, tiene grandes ventajas utilizar carburo de silicio como material estructural de precisión para los equipos clave de circuitos integrados, como la máquina de fotolitografía. El carburo de silicio tiene las ventajas de una buena estabilidad química, alta resistencia mecánica, alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica. y se puede aplicar en altas temperaturas, alta presión, corrosión y radiación de ambientes extremos.
El carburo de silicio tiene las ventajas de una buena estabilidad química, alta resistencia mecánica, alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica, y puede aplicarse en altas temperaturas, alta presión, corrosión y radiación en ambientes extremos.
El equipo clave del circuito integrado requiere que los materiales componentes tengan las características de peso ligero, alta resistencia, alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica, y que sean densos y uniformes sin defectos. Se requiere que los componentes tengan una precisión y estabilidad dimensional extremadamente altas para garantizar un movimiento y control de ultraprecisión del equipo. Las cerámicas de carburo de silicio tienen un alto módulo elástico y rigidez específica, no son fáciles de deformar y tienen una alta conductividad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica, alta estabilidad térmica, por lo que las cerámicas de carburo de silicio son un excelente material estructural, actualmente en la fabricación de circuitos integrados de Equipo clave para obtener una amplia gama de aplicaciones, como máquina de litografía con mesa de trabajo de carburo de silicio, riel guía, reflector, mandril de cerámica y efector final de cerámica.
Fountyl puede cumplir con la máquina de fotolitografía como representante de los equipos clave de fabricación de circuitos integrados con tamaño grande, pared delgada hueca, estructura compleja, tecnología de preparación de piezas estructurales de carburo de silicio de precisión, tales como: mandril de vacío de carburo de silicio, riel guía, reflector, mesa de trabajo. y una serie de piezas estructurales de precisión de carburo de silicio para máquinas de fotolitografía.
| Propiedades | fuente | ||
| Densidad (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Módulo de Young (GPa) | 368 | ||
| Resistencia a la flexión (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Conductividad Térmica(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| el coeficiente de Poisson | 0,187 | ||
| Módulo de corte (GPa) | 155 | ||