მთავარი
მთავარი პროდუქტი
კვადრატული სხივი და გზამკვლევი ულტრა ზუსტი მოძრაობის პლატფორმისა და აღმოჩენის აღჭურვილობისთვის
ვაკუუმ ჩაკის ასამბლეის მაგალითის მიღებით, მასალა, რომელიც გამოიყენება ადრეულ 2 დიუმიან და 4 დიუმიან ვაფლის ეპოქაში, არის საავიაციო ალუმინი, მაგრამ ის შეხვდა ულტრა მაღალი სიბრტყის (1 მიკრონზე უკეთესი) ბოსტნეულს დიდი ზომის ეპოქაში. ვაფლი (8 "და 8-ზე მეტი"), რომელიც ვერ აკმაყოფილებს ულტრა მაღალი სიბრტყის მყარ ინდექსს და აღმოფხვრილია. შემდეგი, ალუმინის მასალა, როგორც გარდამავალი, მისი ელასტიური მოდული, მსუბუქი წონა, თერმული კონდუქტომეტრული და გაფართოების კოეფიციენტი და სილიციუმის კარბიდის ჯუჯა, მაგრამ არა რაღაც სამარცხვინო; დიდი ზომის და რთული სპეციალური ფორმის ღრუ სტრუქტურის სილიკონის კარბიდის კერამიკის მომზადების ტექნოლოგიაში მიღწეული გარღვევის შემდეგ, განახლდა კომპონენტები, მათ შორის ულტრა ზუსტი სამუშაო ნაწილის ბაზა, ულტრა ზუსტი ჰაერის მოძრავი სახელმძღვანელო და ვაფლის გადამცემი მკლავი.
არა მხოლოდ ზემოაღნიშნული სილიციუმის კარბიდის კერამიკული ნაწილები, რომლებიც აკმაყოფილებენ სიბრტყის, პარალელურობისა და ვერტიკალურობის ულტრა მაღალი სიზუსტის მყარ ინდიკატორებს, მაღალი სისუფთავის სილიციუმის კარბიდის კერამიკული ნაწილებისთვის, რომლებიც საჭიროა ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში ვაფლის დიფუზიის, დოპინგის, აკრავის პროცესებისთვის. , განსაკუთრებით მაღალი სისუფთავის CVDSiC მასალის მომზადების ტექნოლოგიაში, აქვს მომწიფებული პროცესის ტექნოლოგია და გააცნობიერა მაღალი სისუფთავის სილიკონის კარბიდის კერამიკული ბროლის ნავის, სილიციუმის კარბიდის კერამიკული ტარების ფირფიტა, სილიციუმის კარბიდის კერამიკული ჰაერის მცურავი მოძრაობის პლატფორმა, სილიციუმის კარბიდი ულტრა - ზუსტი მოძრავი პლატფორმა, სილიციუმის კარბიდის სახელმძღვანელო რელსი, სილიციუმის კარბიდის სლაიდის სარკინიგზო კომპონენტები.
მომავალში, ჩვენ კიდევ გავაფართოვებთ სილიციუმის კარბიდის მასალების გამოყენებას ნახევარგამტარულ ინდუსტრიაში და ხელს შეუწყობს ნახევარგამტარული ინდუსტრიის ჯაჭვისა და სილიციუმის კარბიდის კერამიკული ინდუსტრიის განახლებას. ჩინეთის სილიციუმის კარბიდის ზუსტი კერამიკული კომპონენტების დამოუკიდებელი კვლევა და შიდა აპლიკაციების პოპულარიზაცია ახლახან დაიწყო, ნახევარგამტარული ინდუსტრიის ენერგიული განვითარებით, ბაზრის მოთხოვნა ამ ტიპის მაღალი დონის კერამიკულ სტრუქტურაზე უფრო და უფრო დიდი იქნება, სილიციუმის კარბიდი თავისი შესანიშნავი ფიზიკური და ქიმიური თვისებები, ნახევარგამტარულ ინდუსტრიაში აქვს ფართო გამოყენების პერსპექტივები.
სილიციუმის კარბიდის კერამიკას აქვს არა მხოლოდ შესანიშნავი მექანიკური თვისებები ოთახის ტემპერატურაზე, როგორიცაა მაღალი ღუნვის სიმტკიცე, შესანიშნავი დაჟანგვის წინააღმდეგობა, კარგი კოროზიის წინააღმდეგობა, მაღალი აცვიათ წინააღმდეგობა და დაბალი ხახუნის კოეფიციენტი, არამედ მაღალი ტემპერატურის მექანიკური თვისებები (სიძლიერე, მცოცავი წინააღმდეგობა და ა.შ.). ყველაზე ცნობილი კერამიკული მასალებია. სილიციუმის კარბიდს აქვს კოროზიის წინააღმდეგობის, მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობის, მაღალი სიძლიერის, კარგი თბოგამტარობის, ზემოქმედების წინააღმდეგობის... და ა.შ.
ლითოგრაფიული აპარატის მოთხოვნები სამუშაო ნაწილის მაგიდის სტრუქტურისთვის: ულტრა მსუბუქი (მოძრაობის ინერციის შემცირება, ძრავის დატვირთვის შემცირება), ულტრა მაღალი სტაბილურობა (ულტრა ზუსტი დამუშავება მოითხოვს მაღალი სიზუსტის მოძრაობას და პოზიციონირებას, მოითხოვს თერმული გაფართოების მინიმალურ განზომილებიანი დეფორმაციას და სხვა ფაქტორებს. ), სისუფთავე (მაღალი სიმტკიცე და მაღალი აცვიათ წინააღმდეგობა), მას შეუძლია დააკმაყოფილოს დიდი ზომის, ღრუ თხელი კედლის, რთული სტრუქტურისა და სილიკონის კარბიდის ზუსტი სტრუქტურული ნაწილების ტექნიკური მოთხოვნები, რომლებიც წარმოდგენილია ფოტოლითოგრაფიული აპარატით.
ფუნტილის შესაძლებლობები
მაქსიმალური ზომა:1600 მმ.
სტრუქტურის მორგება:მსუბუქი სტრუქტურა, შეიძლება შეიქმნას წონის სტრუქტურის შესამცირებლად.
მაღალი სიზუსტე:სიბრტყის კონტროლი შესაძლებელია 5 მიკრონის ფარგლებში ან უფრო მაღალი სიზუსტით.