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Poutre carrée et rail de guidage pour plate-forme de mouvement d'ultra-précision et équipement de détection
En prenant l'ensemble du mandrin à vide comme exemple, le matériau utilisé dans la première ère des plaquettes de 2 pouces et 4 pouces est l'aluminium aéronautique, mais il a rencontré le goulot d'étranglement d'une planéité ultra-élevée (meilleure que 1 micron) à l'ère des grandes dimensions. les plaquettes (8" et plus de 8"), qui ne peuvent répondre à l'indice dur d'ultra-haute planéité et sont éliminées. Ensuite, le matériau d'alumine comme transition, son module d'élasticité, sa légèreté, sa conductivité thermique et son coefficient de dilatation et son carbure de silicium nain, mais pas sur certains embarrassants ; Après la percée dans la technologie de préparation de céramiques de carbure de silicium à structure creuse de grande taille et de forme spéciale complexe, les composants, notamment la base de la pièce d'ultra-précision, le guide de flotteur d'air d'ultra-précision et le bras de transmission de tranche, ont été améliorés.
Non seulement les pièces en céramique de carbure de silicium mentionnées ci-dessus qui répondent aux indicateurs durs de très haute précision en matière de planéité, de parallélisme et de verticalité, mais également les pièces en céramique de carbure de silicium de haute pureté requises pour les processus de diffusion, de dopage et de gravure de tranches dans l'industrie des semi-conducteurs. , en particulier dans la technologie de préparation des matériaux CVDSiC de haute pureté, dispose d'une technologie de processus mature et a réalisé la fabrication de bateaux en cristal céramique en carbure de silicium de haute pureté, de plaques d'appui en céramique de carbure de silicium, de plates-formes de mouvement flottantes à air en céramique de carbure de silicium, de carbure de silicium ultra -Plate-forme mobile de précision, rail de guidage en carbure de silicium, composants de rail coulissant en carbure de silicium.
À l'avenir, nous élargirons encore l'application des matériaux en carbure de silicium dans l'industrie des semi-conducteurs et contribuerons à la modernisation de la chaîne industrielle des semi-conducteurs et de l'industrie de la céramique au carbure de silicium. La recherche indépendante sur les composants céramiques en carbure de silicium de précision en Chine et la promotion des applications nationales viennent de commencer, avec le développement vigoureux de l'industrie des semi-conducteurs, la demande du marché pour ce type de structure céramique haut de gamme sera de plus en plus importante, le carbure de silicium avec son excellent physique et propriétés chimiques, dans l'industrie des semi-conducteurs a de larges perspectives d'application.
Les céramiques de carbure de silicium possèdent non seulement d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante, telles qu'une résistance élevée à la flexion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance à la corrosion, une résistance élevée à l'usure et un faible coefficient de frottement, mais également des propriétés mécaniques à haute température (résistance, résistance au fluage, etc.) sont les matériaux céramiques les plus connus. Le carbure de silicium présente les caractéristiques de résistance à la corrosion, de résistance à haute température, de haute résistance, de bonne conductivité thermique, de résistance aux chocs... etc.
Les exigences de la machine de lithographie pour la structure de la table des pièces à usiner : Ultra-léger (réduit l'inertie du mouvement, réduit la charge du moteur), ultra-haute stabilité (l'usinage ultra-précis nécessite un mouvement et un positionnement de haute précision, nécessitant une déformation dimensionnelle minimale de la dilatation thermique et d'autres facteurs ), propreté (dureté élevée et résistance à l'usure élevée), il peut répondre aux exigences techniques des pièces structurelles de grande taille, à paroi mince creuse, à structure complexe et de précision en carbure de silicium pour l'équipement clé de la fabrication de circuits intégrés représenté par la machine de photolithographie.
Capacités de Fountyl
Taille maximum:1600 mm.
Personnalisation des structures :structure légère, peut être conçue pour réduire le poids de la structure.
Haute précision:La planéité peut être contrôlée avec une précision de 5 microns ou même plus.