Dar
Prodott ewlieni
Raġġ kwadru u ferrovija gwida għal pjattaforma ta 'moviment ultra-preċiżjoni u tagħmir ta' skoperta
Meta tieħu l-assemblaġġ taċ-ċokk tal-vakwu bħala eżempju, il-materjal użat fl-ewwel era tal-wejfer ta '2 pulzieri u 4 pulzieri huwa aluminju tal-avjazzjoni, iżda ltaqa' mal-konġestjoni ta 'flatness ultra-għoli (aħjar minn 1 mikron) fl-era ta' daqs kbir wejfers (8 "u aktar minn 8"), li ma jistgħux jilħqu l-indiċi iebes ta 'flatness ultra-għoli u huwa eliminat. Sussegwentement, materjal alumina bħala transizzjoni, modulu elastiku tiegħu, piż ħafif, konduttività termali u koeffiċjent ta 'espansjoni u karbur tas-silikon dwarf, iżda mhux fuq xi embarrassing; Wara l-avvanz fit-teknoloġija tal-preparazzjoni ta 'ċeramika tal-karbur tas-silikon ta' struttura vojta b'forma speċjali ta 'daqs kbir u kumpless, komponenti inklużi bażi ta' biċċa xogħol ta 'preċiżjoni ultra, gwida ta' float ta 'l-arja ta' preċiżjoni ultra, u driegħ tat-trasmissjoni tal-wejfer ġew imtejba.
Mhux biss il-partijiet taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon imsemmija hawn fuq li jissodisfaw l-indikaturi iebsa ta 'preċiżjoni ultra-għolja fuq il-flatness, il-paralleliżmu u l-vertikalità, għall-partijiet taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon ta' purità għolja meħtieġa għad-diffużjoni tal-wejfer, doping, proċessi ta 'inċiżjoni fl-industrija tas-semikondutturi , speċjalment fit-teknoloġija tal-preparazzjoni tal-materjal CVDSiC ta 'purità għolja, għandha teknoloġija ta' proċess matur, u rrealizza l-manifattura ta 'dgħajsa tal-kristall taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon ta' purità għolja, pjanċa tal-ġarr taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon, pjattaforma tal-moviment tal-arja f'wiċċ l-ilma taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon, karbur tas-silikon ultra -preċiżjoni li jiċċaqilqu pjattaforma, karbur tas-silikon gwida ferrovija, karbur tas-silikon slide rail komponenti.
Fil-futur, aħna se nespandu aktar l-applikazzjoni ta 'materjali tal-karbur tas-silikon fl-industrija tas-semikondutturi u nikkontribwixxu għall-aġġornament tal-katina tal-industrija tas-semikondutturi u l-industrija taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon. Il-komponenti taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon ta 'preċiżjoni taċ-Ċina riċerka indipendenti u promozzjoni ta' applikazzjoni domestika għadha kif bdiet, bl-iżvilupp vigoruż tal-industrija tas-semikondutturi, id-domanda tas-suq għal dan it-tip ta 'struttura taċ-ċeramika high-end se tkun dejjem aktar kbira, karbur tas-silikon bil-fiżika u eċċellenti tagħha. proprjetajiet kimiċi, fl-industrija tas-semikondutturi għandha prospetti wiesgħa ta 'applikazzjoni.
Iċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon mhux biss għandha proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti f'temperatura tal-kamra, bħal qawwa għolja ta 'liwi, reżistenza eċċellenti għall-ossidazzjoni, reżistenza tajba għall-korrużjoni, reżistenza għolja għall-ilbies u koeffiċjent ta' frizzjoni baxx, iżda wkoll proprjetajiet mekkaniċi ta 'temperatura għolja (saħħa, reżistenza għat-tkaxkir, eċċ.) huma l-materjali taċ-ċeramika l-aktar magħrufa. Il-karbur tas-silikon għandu l-karatteristiċi ta 'reżistenza għall-korrużjoni, reżistenza għat-temperatura għolja, qawwa għolja, konduttività termali tajba, reżistenza għall-impatt... eċċ.
Ir-rekwiżiti tal-magna tal-litografija għall-istruttura tal-mejda tal-biċċa tax-xogħol: Ultra-ħfief (naqqas l-inerzja tal-moviment, tnaqqas it-tagħbija tal-mutur), stabbiltà ultra-għolja (il-magni ultra-preċiżjoni jeħtieġu moviment u pożizzjonament ta 'preċiżjoni għolja, li jeħtieġu deformazzjoni dimensjonali minima ta' espansjoni termali u fatturi oħra ), indafa (ebusija għolja u reżistenza għolja għall-ilbies), Jista 'jissodisfa r-rekwiżiti tekniċi ta' daqs kbir, ħajt irqiq vojt, struttura kumplessa u partijiet strutturali ta 'preċiżjoni tal-karbur tas-silikon għat-tagħmir ewlieni tal-manifattura ta' ċirkwit integrat rappreżentat minn magna fotolitografika.
Kapaċitajiet Fountyl
Daqs massimu:1600mm.
Personalizzazzjoni tal-istruttura:struttura ħafifa, tista 'tkun iddisinjata biex tnaqqas l-istruttura tal-piż.
Preċiżjoni għolja:Flatness jista 'jiġi kkontrollat fi żmien 5 mikroni jew saħansitra preċiżjoni ogħla.