Ferningsgeisli og stýrisbraut fyrir mjög nákvæman hreyfivettvang og skynjunarbúnað

Ef þú tekur tómarúmssamsetninguna sem dæmi, efnið sem notað var á elstu 2 tommu og 4 tommu oblátu tímum er flugál, en það hefur lent í flöskuhálsi ofurhárar flatleika (betri en 1 míkron) á tímum stórra stærða oblátur (8 "og fleiri en 8"), sem geta ekki uppfyllt harða vísitöluna um ofurháa flatleika og er eytt. Næst, súrál efni sem umskipti, teygjanlegt stuðull þess, léttur þyngd, hitaleiðni og stækkunarstuðull og kísilkarbíð dvergur, en ekki á sumum vandræðalegum; Eftir bylting í undirbúningstækni stórrar og flókins sérlaga holbyggingar kísilkarbíð keramik, hafa íhlutir, þar á meðal ofurnákvæmni vinnustykkisbotn, ofurnákvæmur loftflotstýribúnaður og obláta flutningsarmur, verið uppfærður.

Ekki aðeins ofangreindir kísilkarbíð keramikhlutar sem uppfylla harða vísbendingar um sléttleika, samsvörun og lóðréttleika, fyrir háhreinleika kísilkarbíð keramikhlutana sem þarf fyrir dreifingu obláta, lyfjanotkun, ætingarferla í hálfleiðaraiðnaðinum. , sérstaklega í háhreinleika CVDSiC efni undirbúnings tækni, hefur þroskaða ferli tækni, og hefur áttað sig á framleiðslu á hár hreinleika kísilkarbíð keramik kristalbát, kísilkarbíð keramik burðarplötu, kísilkarbíð keramik loftfljótandi hreyfingarpallur, kísilkarbíð öfgafullur -nákvæmni hreyfanlegur pallur, kísilkarbíð stýribraut, kísilkarbíð rennibrautarhlutir.

Í framtíðinni munum við auka enn frekar notkun kísilkarbíðefna í hálfleiðaraiðnaðinum og stuðla að uppfærslu á hálfleiðaraiðnaðarkeðjunni og kísilkarbíðkeramikiðnaðinum. Nákvæmni kísilkarbíð keramikhlutar Kína, sjálfstæðar rannsóknir og kynning á innlendum umsóknum eru nýhafnar, með kröftugri þróun hálfleiðaraiðnaðarins, verður eftirspurn markaðarins eftir þessari tegund af hágæða keramikbyggingu sífellt stærri, kísilkarbíð með framúrskarandi líkamlega og efnafræðilegir eiginleikar, í hálfleiðaraiðnaði hefur víðtæka notkunarmöguleika.