Firkantet bjælke og styreskinne til ultra-præcision bevægelsesplatform og detektionsudstyr

Tager man vakuumpatronsamlingen som et eksempel, er det materiale, der blev brugt i den tidligste 2-tommer og 4-tommer wafer-æra, luftfartsaluminium, men det har stødt på flaskehalsen med ultrahøj fladhed (bedre end 1 mikron) i æraen med store størrelser wafers (8 "og mere end 8"), som ikke kan opfylde det hårde indeks for ultrahøj fladhed og er elimineret. Dernæst aluminiumoxid materiale som en overgang, dets elasticitetsmodul, lette vægt, termisk ledningsevne og ekspansionskoefficient og siliciumcarbid dværg, men ikke på nogle pinlige; Efter gennembruddet i forberedelsesteknologien af ​​stor størrelse og kompleks specialformet hulstruktur af siliciumcarbidkeramik, er komponenter, herunder ultrapræcision arbejdsemnebase, ultrapræcisionsluftflyderguide og wafertransmissionsarm blevet opgraderet.

Ikke kun de ovennævnte keramiske siliciumcarbiddele, der opfylder de hårde indikatorer med ultrahøj præcision for fladhed, parallelitet og vertikalitet, for de højrente siliciumcarbidkeramiske dele, der kræves til waferdiffusion, doping, ætsningsprocesser i halvlederindustrien , især i den høj-renhed CVDSiC materiale forberedelse teknologi, har en moden proces teknologi, og har realiseret fremstilling af høj renhed silicium carbid keramisk krystal båd, silicium carbid keramisk lejeplade, silicium carbid keramisk luft flydende bevægelsesplatform, silicium carbid ultra - præcision bevægelig platform, siliciumcarbid styreskinne, siliciumcarbid glideskinne komponenter.

I fremtiden vil vi yderligere udvide anvendelsen af ​​siliciumcarbidmaterialer i halvlederindustrien og bidrage til opgraderingen af ​​halvlederindustriens kæde og siliciumcarbidkeramiske industri. Kinas præcision siliciumcarbid keramiske komponenter uafhængig forskning og indenlandsk applikationsfremme er lige begyndt, med den kraftige udvikling af halvlederindustrien, vil markedets efterspørgsel efter denne form for high-end keramiske struktur blive mere og mere stor, siliciumcarbid med sin fremragende fysiske og kemiske egenskaber, i halvlederindustrien har brede anvendelsesmuligheder.