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0102030405
Mikroporöses Keramik-Vakuumfutter
Merkmale des Keramik-Vakuumspannfutters
Starke Durchlässigkeit: Gleichmäßige Luftdurchlässigkeit und Wasserdurchlässigkeit, um eine gleichmäßige Kraft und feste Adsorption des Siliziumwafers im Schleifprozess ohne Rutschen sicherzustellen.
Dichte und gleichmäßige Struktur: Verwendung von mikroporösem Keramikmaterial mit dichter und gleichmäßiger Struktur, das Siliziumstaub nicht leicht absorbiert und das Spannfutter leicht zu reinigen ist.
Hohe Festigkeit: Keine Verformung während des Schleifens, um sicherzustellen, dass der Siliziumwafer beim Schleifen an jedem Punkt gleichmäßig beansprucht wird und es nicht leicht zu Kantenkollaps und Ablagerungen kommt.
Lange Lebensdauer: Die Beibehaltung der Oberflächenform ist gut, der Abrichtzyklus ist lang und die Abrichtmenge ist gering, sodass eine hohe Lebensdauer gewährleistet ist.
Einfaches Abrichten: Beim Abrichten treten keine Risse, Fragmentierungen oder Druschphänomene auf.
Leichtgewicht: Aufgrund der inneren Struktur der Poren beträgt der spezifische Schwerkraftkoeffizient 1,6–2,8.
Hohe Isolierung: Isoliermaterial, statische Elektrizität beseitigen.
Genauigkeitskontrolle
| Kategorie | Basismaterial | Adsorptionsoberflächenmaterial | Größe | Ebenheit | Tiefe der Parallelität |
| Poröses Futter | Aluminiumlegierung | Poröses SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Edelstahl | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Aluminiumoxid | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Siliziumkarbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Das poröse Keramikfutter verfügt über eine vollständige Palette an Spezifikationen und Größen, die in der 3-Zoll-Linie, 4-Zoll-Linie, 5-Zoll-Linie, 6-Zoll-Linie, 8-Zoll-Linie und 12-Zoll-Linie verwendet werden können kann entsprechend den von Ihnen benötigten Spezifikationen und Größen angepasst werden. | |||||
| Die maximale Größe des aktuellen Gehäuses beträgt: 1600 * 1600 m, die Dicke beträgt 50 mm; | |||||
Eigenschaften des porösen Keramikmaterials:
Hauptbestandteile: Aluminiumoxid. Farbe: Schwarz, Eisengrau
Aluminiumoxidgehalt: 92 % Feuchtigkeitsgehalt: 0 %
Öffnung: 2–30 µm, Porosität: 35–40 %.
Biegefestigkeit: 6 kgf/cm2 (Mpa). Volumenverhältnis: 2,28 g/cm3
Keramikfuttertyp
Je nach Verwendungszweck werden Keramikfutter unterteilt in:
Ausdünnungsmaschine ausgestattet mit: Schleifscheibenfutter, Siliziumwafer, Saphirsubstrat und anderen Ausdünnungsmaschinen;
Die Schneidemaschine ist ausgestattet mit: Ritzspannfutter, Siliziumwafer, Halbleiterverbindungswafer und anderen Schnitten;
Reinigungsmaschine ausgestattet mit: Reinigungsfutter;
Die Filmentfernungsmaschine ist ausgestattet mit: Filmentfernungsspannfutter;
Laminiermaschine ausgestattet mit: Laminierfutter;
Druckmaschine ausgestattet mit: Druckspannfutter.
Qualitätskontrolle
Fountyl verfügt über langjährige technische Erfahrung in der technischen Keramikpräzision und der ultrapräzisen Verarbeitung und Herstellung sowie einer Vielzahl physikalischer und chemischer Analyseinstrumente sowie geometrischer Messinstrumente, um die Stabilität der Produktion und die Konsistenz des Produkts für Keramikfutter sicherzustellen.
Produktanwendung
Poröses Spannfutter (Adsorptionsarbeitstisch) ist eine Komponente, die in der Halbleiterfertigungsphase verwendet und auf einer Anreißmaschine oder einem Inspektionsgerät montiert wird. Es handelt sich um ein Produkt, das die poröse Struktur und den Unterdruck der Oberfläche der Werkbank nutzen kann, um den dünnen Siliziumwafer flach zu halten. Die Ritzmaschine schneidet den Siliziumwafer mit einer Breite von etwa 20 μm, daher sind die Anforderungen an Ebenheit und Parallelität der Waferadsorptionsoberfläche sehr hoch. Je nach ihren jeweiligen Eigenschaften haben unterschiedliche Porenstrukturen unterschiedliche Anwendungsbereiche, wie z. B. mikroporöse Keramiken mit großer spezifischer Oberfläche und kleiner Porengröße, die üblicherweise in den Bereichen Bakterienfiltration und mikrobielle Fixierung verwendet werden; Mesoporöse Keramiken mit ihrer spezifischen Durchmesserverteilung werden häufig in Bereichen der Trenn- und Adsorptionskatalyse eingesetzt. Makroporöse Keramiken eignen sich in der Regel zur Grobfiltration von Stoffen mit großem Inhalt und großer Größe.