「微多孔質セラミックス」は、これまでの一般的な「セラミックス」という認識とは異なり、業界のいたるところで見られる工業用素材です。 微多孔質セラミックスに関して言えば、...
EUVリソグラフィー装置はチップ製造の中核装置として注目を集めており、ASMLの重要性がますます高まっており、その波の中で、EUV露光装置の重要性がますます高まっています。