SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...
2018년 에칭 장비의 세계 시장 규모는 약 100억 달러에 달하며, 칩 공정 노드의 감소로 인해 에칭 단계가 더욱 증가하고 있으며...
