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비접촉 방식의 하중 전달 기술을 적용한 반도체 산업용 다공성 공기 부유식 플랫폼
전통적인 에어 플로팅 플랫폼은 일반적으로 작은 구멍 스로틀링, 토러스 스로틀링 또는 슬릿 스로틀링 기술을 채택합니다. 이는 간단한 가공 기술이 특징이지만 공급 공기 압력이 변하면 휘파람 현상이 발생하기 쉽고 소리가 날카롭고 베어링 용량도 변동하므로 조용하고 안정적인 압력 작업 환경에는 적합하지 않습니다.
전통적인 TFT-LCD 유리 기판은 로봇 팔(로봇)과 AGV(자동 유도 차량) 시스템에 의해 수행됩니다. 생산 공정의 유리 기판. 이는 하중 이동 플랫폼(또는 롤러)과의 접촉 작업입니다. 유리 기판이 하중 이동 플랫폼 또는 롤러와 접촉할 때 접촉 및 마찰로 인해 모서리 누락, 균열, 손상, 오염 및 유리 기판 표면의 정전기 등의 손상 또는 결함 문제가 발생하고 생산에 영향을 미칩니다. 롤러 회전 전달 부하를 사용하는 것 외에도 수율 및 제품 품질에는 여전히 극복해야 할 기술적 문제가 있습니다. 이러한 문제는 대형 유리 기판의 생산 효율성에 큰 영향을 미치므로 개선이 시급히 필요합니다. 비접촉식 공중부양 플랫폼 기술이 기존의 접촉식 하중 이동 기술에서 파생되는 문제점을 대체할 수 있다면 효과적인 솔루션이 될 것입니다. 에어 플로팅 시스템의 장점:
1. 마찰이 전혀 없습니다.
2. 마모가 전혀 없습니다.
3. 직선운동, 회전운동이 가능합니다.
4. 조용하고 원활한 작동.
5. 더 높은 감쇠.
6. 기름을 제거하십시오.
공중부양 플랫폼의 구조는 베이스에 나노다공성 세라믹이 내장되어 진공챔버를 형성하는 구조로 되어 있다. 물과 기름이 함유되지 않은 깨끗한 압축 공기가 가스 파이프를 통해 베어링 표면과 에어 플로팅 가이드 레일 사이의 에어 모드 틈으로 유입됩니다. 에어 모드 갭에 가스가 흘러 베어링 표면이 에어 플로팅 가이드 레일에 뜨게 됩니다. 가스는 마찰 없이 물체를 움직이거나 운반하는 윤활제 역할을 합니다.
일반적인 공기 부동 구멍의 구성:
a) 오리피스 조절 구조
b) 다공성 구조
가장 큰 맞춤형 크기: 길이 1600mm, 너비 1000mm
비접촉 운반 및 하중 이동 장비는 운반 및 하중 이동 공정이 작업 대상과 직접 접촉하지 않기 때문에 유리 기판이 커진 후 전통적인 처리 기술로 인해 발생하는 문제를 주로 개선하여 발생을 피할 수 있습니다. 오염 물질 부착, 스트레스, 정전기 및 유리 기판 손상의 원인이 됩니다. 반면 다공성 소재는 가스유량을 대폭 감소시키고, 균일한 기압과 에어쿠션의 분포가 양호하며, 작동에 필요한 충분한 부유 높이를 제공합니다.