Kernproducten

Wafer pin chuck (ook wel convexe chuck genoemd), is een industriële chuck die veel wordt gebruikt in de halfgeleiderindustrie, met hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, slijtvastheid en andere kenmerken. Het is meestal gemaakt van keramisch materiaal van siliciumcarbide of aluminiumoxide met een verhoogde puntachtige structuur op het oppervlak voor betere adsorptie en stabiliteit.

Convexe klauwplaten worden veel gebruikt in halfgeleiderproductieapparatuur voor het absorberen, fixeren, overbrengen en hanteren van siliciumwafels, wafels en verschillende werkstukken en materialen.

Ringgroefklauwplaat (groefklauwplaat) is een veelgebruikte industriële klauwplaat in de halfgeleiderindustrie, met hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, slijtvastheid en andere kenmerken. Meestal gemaakt van keramische materialen van siliciumcarbide of aluminiumoxide.

Het wordt veel gebruikt in halfgeleiderproductieapparatuur voor het absorberen, fixeren, overbrengen en hanteren van siliciumwafels, wafers en verschillende werkstukken en materialen.

Microporeuze keramische vacuümklauwplaat wordt ook wel nano-microporeuze vacuümklauwplaat genoemd, wat betekent dat een uniform vast of vacuümlichaam wordt geproduceerd door middel van een speciaal nanopoederproductieproces, en dat een groot aantal verbonden of gesloten keramische materialen in het materiaal wordt gegenereerd door sinteren op hoge temperatuur. . Met zijn speciale structuur heeft het de voordelen van hoge temperatuurbestendigheid, slijtvastheid, chemische corrosieweerstand, hoge mechanische sterkte, gemakkelijke regeneratie en uitstekende thermische schokbestendigheid, die kan worden gebruikt voor filtratiematerialen op hoge temperatuur, katalysatordragers, poreuze brandstofelektroden cellen, gevoelige componenten, scheidingsmembranen, biokeramiek, enz. bieden unieke toepassingsvoordelen in de chemische industrie, milieubescherming, energie, elektronica en biochemie.

De keramische eindeffector met hoge functionele duurzaamheid bij hoge temperaturen en hoge slijtvastheid wordt lange tijd gebruikt in een omgeving met hoge temperaturen zonder schade te veroorzaken, en de slijtage van het te verplaatsen materiaal wordt ook tot een minimum beperkt, waardoor de diffusie effectief wordt gecontroleerd van onzuivere stoffen aan het bewegende lichaam, en het oppervlak kan ook klantspecifiek worden bewerkt met speciale afmetingen en hoge functionele eigenschappen.

Keramische eindeffector voor chipschijfaandrijving van halfgeleiderapparatuur, precisie-keramische onderdelen hebben een goede structurele sterkte, hoge temperatuurbestendigheid, hoge drukweerstand, goede precisie, goed parallellisme, dichte en uniforme organisatie, hoge sterkte. Het wordt al vele jaren gebruikt door halfgeleiderproductiefabrieken. Fountyl heeft een groep uitstekende ingenieurs met unieke en uitstekende vaardigheden in projecten voor de verwerking van keramische buitenaardse wezens. buitenaardse verwerkingstechnologie is de kracht van ons bedrijf.

Siliciumcarbide keramisch zwevend bewegingsplatform, ultra-precies mobiel platform van siliciumcarbide, siliciumcarbide geleiderail, siliciumcarbide schuifrail, siliciumcarbide vacuümzuiger, siliciumcarbide spiegel, siliciumcarbide balk, siliciumcarbide werkstuktafel en een reeks precisie siliciumcarbide structurele onderdelen voor lithografiemachines zijn een van de kerncomponenten van de lithografiemachine. De belangrijkste functie is het dragen van de wafer om ultra-precieze bewegingen met hoge snelheid uit te voeren volgens het gespecificeerde bewegingstraject en het voltooien van een reeks acties die nodig zijn voor belichting, inclusief op en neer, uitlijning, waferprofielmeting en belichting, waarvoor bewegingsnauwkeurigheid vereist is. van 2 nm bij snelle bewegingen.

Precisie keramische zuiger bestaat uit twee delen: de zuigerhuls en de zuigerstang. Het wordt gevormd door geïmporteerd ruw poeder met hoge zuiverheid door statisch persen, gesinterd bij een temperatuur van 1700 graden en vervolgens precisiebewerking. Redelijke controle over de zuigerhuls en de zuigerstang met speling is zeer hoge precisie, cilindriciteit en tapsheid zijn op micronniveau.