Producten

01

PEEK-onderdelen, speciaal ontwikkeld voor halfgeleiders.

02

Voor bewegingsplatformen op nanoschaal worden uiterst nauwkeurige geleiderails van siliciumcarbide gebruikt.

03

Voor uiterst nauwkeurige spindels worden vierkante balken van siliciumcarbide gebruikt.

04

Waferpin siliciumcarbide spantang (waferklem, pre-aligner spantang)

05

Ringgroef keramische spankop

06

Poreuze keramische spankop

07

Keramische eindeffector, keramische arm van aluminiumoxide of siliciumcarbide.

08

Precisiekeramische zuiger met een speling van 3 micron tussen de bus en de stang.

09

Keramische constructieonderdelen (keramische onderdelen) met maatwerk

10

Keramisch luchtzwevend platform met contactloze bediening

11

Structurele onderdelen van kwartsglas (kwartsonderdelen)

12

Structureel onderdeel van aluminiumsiliciumcarbide met hoge nauwkeurigheid

13

Elektrostatische spankop toegepast in halfgeleiderproductieprocessen