Poreuze keramische spankop
0102030405
Poreuze keramische spankop
Poreuze keramische spankop
Hoge permeabiliteit: uniforme lucht- en waterpermeabiliteit, om een uniforme kracht en stevige hechting van de siliciumwafel tijdens het slijpproces te garanderen zonder verschuiving.
Dichte en uniforme structuur: Door het gebruik van microporeus keramisch materiaal met een dichte en uniforme structuur wordt de hechting van siliciumstof beperkt en is de spankop eenvoudig te reinigen.
Hoge sterkte: geen vervorming tijdens het slijpen, waardoor de siliciumwafer tijdens het slijpen gelijkmatig wordt belast en verschijnselen zoals afbrokkeling van de randen en splintervorming worden voorkomen.
Lange levensduur: het oppervlak behoudt zijn vorm goed, de onderhoudscyclus is lang en er is weinig onderhoud nodig, waardoor het een lange levensduur heeft.
Gemakkelijk te verwerken: er zullen geen scheuren, fragmentatie of breukverschijnselen optreden tijdens het verwerken.
Lichtgewicht: Door de interne structuur van poriën bedraagt de soortelijke massa 1,6-2,8.
Hoge isolatie: isolerend materiaal, elimineert statische elektriciteit.
Nauwkeurigheidscontrole
| categorie | Basismateriaal | Adsorptieoppervlaktemateriaal | Maat | Vlakheid | diepte van parallellisme |
| Poreuze keramische spankop | Aluminiumlegering | Poreus SIC | ≤12 μm | ≤15 μm | ≤20 μm |
| Roestvrij staal | ≤10 μm | ≤15 μm | |||
| Aluminiumoxide | ≤5 μm | ≤8 μm | |||
| siliciumcarbide | ≤3μm | ≤8 μm | |||
| De poreuze keramische spankop is verkrijgbaar in een compleet assortiment specificaties en maten, geschikt voor 3-inch, 4-inch, 5-inch, 6-inch, 8-inch en 12-inch lijnen, en kan worden aangepast aan uw specifieke wensen en afmetingen. | |||||
| De maximale afmetingen van de huidige behuizing zijn 1600*1600 mm, de dikte is 50 mm; | |||||
Eigenschappen van poreus keramisch materiaal:
Hoofdbestanddelen: aluminiumoxide Kleur: zwart, ijzergrijs
Aluminiumoxidegehalte: 92% Vochtgehalte: 0%
Opening: 2~30 µm Porositeit: 35~40%
Buigsterkte: 6 kgf/cm² (MPa) Volumeverhouding: 2,28 g/cm³
Poreuze siliciumcarbide spantang
Afhankelijk van het gebruik worden spankoppen onderverdeeld in:
Dunningsmachine uitgerust met: dunningshouder, siliciumwafels, saffiersubstraten en andere dunningsapparatuur;
De dicingzaag is uitgerust met: een dicingspankop, geschikt voor het snijden van siliciumwafels, halfgeleiderwafels en andere materialen;
Reinigingsmachine uitgerust met: reinigingskop;
De folieverwijderingsmachine is uitgerust met: een folieverwijderingshouder;
Lamineermachine uitgerust met: lamineerhouder;
Drukpers uitgerust met: drukkop.
Kwaliteitsborging
Fountyl heeft jarenlange technische ervaring in de precisie- en ultraprecisiebewerking en -productie van keramiek, en beschikt over diverse fysische en chemische analyse-instrumenten en geometrische meetinstrumenten om de stabiliteit van de productie en de consistentie van het product voor poreuze keramische spankoppen te garanderen.
Producttoepassing
Een poreuze keramische klem is een component dat wordt gebruikt in de halfgeleiderproductie en wordt gemonteerd op een graveermachine of inspectieapparaat. Het is een product dat gebruikmaakt van de poreuze structuur en de onderdruk van het werkoppervlak om de dunne siliciumwafel vlak te houden. De graveermachine snijdt de siliciumwafel met een breedte van ongeveer 20 μm, waardoor de eisen aan de vlakheid en paralleliteit van het wafeloppervlak zeer hoog zijn. Afhankelijk van hun specifieke eigenschappen hebben verschillende poriestructuren verschillende toepassingsgebieden. Zo wordt microporeus keramiek met een groot specifiek oppervlak en een kleine poriegrootte meestal gebruikt voor bacteriële filtratie en microbiële fixatie; mesoporeus keramiek met een specifieke diameterverdeling wordt vaak gebruikt voor scheiding en adsorptiekatalyse; macroporeus keramiek is doorgaans geschikt voor grove filtratie van stoffen met een hoge concentratie en grote deeltjesgrootte.