Thuis
Belangrijkste product
Vierkante balk en geleiderail voor ultraprecies bewegingsplatform en detectieapparatuur
Als we de vacuümklauwplaat als voorbeeld nemen: het materiaal dat in het vroegste tijdperk van 2 inch en 4 inch wafers werd gebruikt, is luchtvaartaluminium, maar in het tijdperk van grote afmetingen is dit het knelpunt tegengekomen van ultrahoge vlakheid (beter dan 1 micron). wafels (8 "en meer dan 8"), die niet kunnen voldoen aan de harde index van ultrahoge vlakheid en worden geëlimineerd. Vervolgens aluminiumoxide materiaal als een overgang, de elastische modulus, het lichte gewicht, de thermische geleidbaarheid en uitzettingscoëfficiënt en siliciumcarbide dwerg, maar niet op een aantal gênante; Na de doorbraak in de voorbereidingstechnologie van grote en complexe, speciaal gevormde siliciumcarbide-keramiek met holle structuur, zijn componenten zoals de ultraprecieze werkstukbasis, de ultraprecieze luchtvlottergeleider en de wafeltransmissiearm geüpgraded.
Niet alleen de bovengenoemde keramische onderdelen van siliciumcarbide die voldoen aan de harde indicatoren met ultrahoge precisie op vlakheid, parallelliteit en verticaliteit, maar ook de zeer zuivere keramische onderdelen van siliciumcarbide die nodig zijn voor de wafeldiffusie-, doping- en etsprocessen in de halfgeleiderindustrie , vooral in de hoogzuivere CVDSiC-materiaalvoorbereidingstechnologie, heeft een volwassen procestechnologie en heeft de vervaardiging gerealiseerd van zeer zuivere keramische kristalboot van siliciumcarbide, keramische lagerplaat van siliciumcarbide, keramisch zwevend bewegingsplatform van siliciumcarbide, siliciumcarbide ultra -precisie bewegend platform, siliciumcarbide geleiderail, siliciumcarbide schuifrailcomponenten.
In de toekomst zullen we de toepassing van siliciumcarbidematerialen in de halfgeleiderindustrie verder uitbreiden en bijdragen aan de modernisering van de keten van de halfgeleiderindustrie en de siliciumcarbide-keramische industrie. China's precisie siliciumcarbide keramische componenten, onafhankelijk onderzoek en promotie van binnenlandse toepassingen zijn net begonnen, met de krachtige ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie zal de marktvraag naar dit soort hoogwaardige keramische structuren steeds groter worden, siliciumcarbide met zijn uitstekende fysieke en chemische eigenschappen, in de halfgeleiderindustrie heeft brede toepassingsmogelijkheden.
Siliciumcarbide-keramiek heeft niet alleen uitstekende mechanische eigenschappen bij kamertemperatuur, zoals hoge buigsterkte, uitstekende oxidatieweerstand, goede corrosieweerstand, hoge slijtvastheid en lage wrijvingscoëfficiënt, maar ook mechanische eigenschappen bij hoge temperaturen (sterkte, kruipweerstand, enz.) zijn de bekendste keramische materialen. Siliciumcarbide heeft de kenmerken van corrosieweerstand, hoge temperatuurbestendigheid, hoge sterkte, goede thermische geleidbaarheid, slagvastheid... enz.
De vereisten van een lithografiemachine voor de structuur van de werkstuktafel: ultralicht (verminder de bewegingstraagheid, verminder de motorbelasting), ultrahoge stabiliteit (ultraprecieze bewerking vereist uiterst nauwkeurige beweging en positionering, waardoor minimale dimensionale vervorming van thermische uitzetting en andere factoren vereist is ), reinheid (hoge hardheid en hoge slijtvastheid), kan het voldoen aan de technische eisen van grote afmetingen, holle dunne wand, complexe structuur en precisie siliciumcarbide structurele onderdelen voor de belangrijkste uitrusting van de productie van geïntegreerde schakelingen, vertegenwoordigd door een fotolithografiemachine.
Fountyl-mogelijkheden
Maximumgrootte:1600 mm.
Structuuraanpassing:lichtgewicht structuur, kan worden ontworpen om de gewichtsstructuur te verminderen.
Hoge nauwkeurigheid:De vlakheid kan worden geregeld binnen een nauwkeurigheid van 5 micron of zelfs nog hoger.