Kernprodukte

Siliziumkarbid-Spannfutter (auch Wafer-Klemmfutter genannt) sind Industriespannfutter, die häufig in der Halbleiterindustrie verwendet werden und sich durch hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und andere Eigenschaften auszeichnen. Sie bestehen normalerweise aus Siliziumkarbid oder Aluminiumoxidkeramik mit einer erhabenen punktförmigen Struktur auf der Oberfläche, um eine bessere Adsorption und Stabilität zu gewährleisten.

Prealigner-Chucks werden häufig in Anlagen zur Halbleiterproduktion verwendet, um Silizium-Wafer, Wafer und verschiedene Werkstücke und Materialien aufzunehmen, zu fixieren, zu transportieren und zu handhaben.

Ringnutenspannfutter (Rillenspannfutter) sind in der Halbleiterindustrie häufig verwendete Industriespannfutter mit hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und anderen Eigenschaften. Normalerweise aus Siliziumkarbid oder Aluminiumoxidkeramik hergestellt.

Es wird häufig in Anlagen zur Halbleiterproduktion zum Aufnehmen, Fixieren, Übertragen und Handhaben von Silizium-Wafern, Wafern und verschiedenen Werkstücken und Materialien verwendet.

Poröse Keramikträger werden auch mikroporöse Keramikträger genannt. Dies bedeutet, dass durch einen speziellen Nanopulver-Herstellungsprozess ein gleichmäßiger Festkörper oder Vakuumkörper erzeugt wird und im Inneren des Materials durch Sintern bei hohen Temperaturen eine große Anzahl verbundener oder geschlossener Keramikmaterialien erzeugt wird. Aufgrund seiner speziellen Struktur bietet es die Vorteile hoher Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, chemischer Korrosionsbeständigkeit, hoher mechanischer Festigkeit, einfacher Regeneration und hervorragender Thermoschockbeständigkeit. Es kann für Hochtemperatur-Filtermaterialien, Katalysatorträger, poröse Elektroden von Brennstoffzellen, empfindliche Komponenten, Trennmembranen, Biokeramik usw. verwendet werden und bietet einzigartige Anwendungsvorteile in der chemischen Industrie, im Umweltschutz, in der Energiebranche, in der Elektronik und der Biochemie.

Der Keramik-Endeffektor mit hoher Funktionalität, Hochtemperaturbeständigkeit und hoher Verschleißfestigkeit kann über einen langen Zeitraum in einer Hochtemperaturumgebung verwendet werden, ohne Schaden zu nehmen. Der Verschleiß des zu bewegenden Materials wird ebenfalls auf ein Minimum reduziert, wodurch die Diffusion von Verunreinigungen in den bewegten Körper wirksam kontrolliert wird. Die Oberfläche kann auch nach Kundenwunsch mit Sonderabmessungen und hohen funktionalen Eigenschaften bearbeitet werden.

Keramischer Endeffektor für Chip-Diskettenlaufwerke von Halbleitergeräten. Präzisionskeramikteile haben eine gute strukturelle Festigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Druckfestigkeit, gute Präzision, gute Parallelität, dichte und gleichmäßige Anordnung, hohe Festigkeit. Es wird seit vielen Jahren in Halbleiterproduktionsfabriken verwendet. Fountyl verfügt über eine Gruppe hervorragender Ingenieure mit einzigartigen und hervorragenden Fähigkeiten in keramischen Alien-Verarbeitungsprojekten. Alien-Verarbeitungstechnologie ist die Stärke unseres Unternehmens.

Eine luftschwebende Bewegungsplattform aus Siliziumkarbidkeramik, eine ultrapräzise mobile Plattform aus Siliziumkarbid, eine Führungsschiene aus Siliziumkarbid, eine Gleitschiene aus Siliziumkarbid, ein Vakuumsauger aus Siliziumkarbid, ein Spiegel aus Siliziumkarbid, ein Balken aus Siliziumkarbid, ein Werkstücktisch aus Siliziumkarbid und eine Reihe von präzisen Strukturteilen aus Siliziumkarbid für Lithografiemaschinen sind eine der Kernkomponenten der Lithografiemaschine. Ihre Hauptfunktion besteht darin, den Wafer zu transportieren, um eine ultrapräzise Hochgeschwindigkeitsbewegung gemäß der angegebenen Bewegungsbahn auszuführen und eine Reihe von Aktionen auszuführen, die für die Belichtung erforderlich sind, einschließlich Auf und Ab, Ausrichtung, Messung des Waferprofils und Belichtung, wobei bei Hochgeschwindigkeitsbewegungen eine Bewegungsgenauigkeit von 2 nm erforderlich ist.

Präzisionskeramikkolben bestehen aus zwei Teilen, der Kolbenhülse und der Kolbenstange. Sie werden aus importiertem hochreinem Rohpulver durch statisches Pressen geformt, bei 1700 Grad gesintert und anschließend präzise bearbeitet. Die Kolbenhülse und die Kolbenstange mit Spielraum sind sehr präzise, ​​Zylindrizität und Konizität liegen im Mikronbereich.