Poröses Keramikfutter
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Poröses Keramikfutter
Merkmale des porösen Keramikfutters
Hohe Durchlässigkeit: Gleichmäßige Luft- und Wasserdurchlässigkeit, um eine gleichmäßige Krafteinwirkung und feste Adsorption des Siliziumwafers während des Schleifprozesses ohne Verrutschen zu gewährleisten.
Dichte und gleichmäßige Struktur: Verwendung eines mikroporösen Keramikmaterials mit dichter und gleichmäßiger Struktur, das Siliziumstaub nicht leicht adsorbiert und die Reinigung des Spannfutters erleichtert.
Hohe Festigkeit: Keine Verformung beim Schleifen, um sicherzustellen, dass der Siliziumwafer beim Schleifen an jedem Punkt gleichmäßig beansprucht wird und es nicht leicht zu Randkollaps oder Abrieb kommt.
Lange Lebensdauer: Die Oberflächenform bleibt gut erhalten, der Verbandzyklus ist lang und die Verbandmenge gering, daher hat es eine hohe Lebensdauer.
Einfaches Ankleiden: Beim Ankleiden kommt es nicht zu Rissen, Fragmentierungen oder Drescherscheinungen.
Leichtgewicht: Aufgrund der inneren Porenstruktur beträgt der spezifische Gewichtskoeffizient 1,6-2,8.
Hohe Isolationsfähigkeit: Isoliermaterial, verhindert statische Aufladung.
Genauigkeitskontrolle
| Kategorie | Grundmaterial | Adsorptionsoberflächenmaterial | Größe | Ebenheit | Tiefe des Parallelismus |
| Poröses Keramikfutter | Aluminiumlegierung | Poröser SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Edelstahl | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Aluminiumoxid | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Siliciumcarbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Das poröse Keramikfutter ist in einer kompletten Palette von Spezifikationen und Größen erhältlich und kann in den 3-Zoll-, 4-Zoll-, 5-Zoll-, 6-Zoll-, 8-Zoll- und 12-Zoll-Linien eingesetzt werden. Es kann auch an die von Ihnen benötigten Spezifikationen und Größen angepasst werden. | |||||
| Die maximale Größe des aktuellen Gehäuses beträgt: 1600 x 1600 mm, die Dicke beträgt 50 mm; | |||||
Eigenschaften poröser Keramikmaterialien:
Hauptbestandteil: Aluminiumoxid Farbe: Schwarz, Eisengrau
Aluminiumoxidgehalt: 92 % Feuchtigkeitsgehalt: 0 %
Apertur: 2–30 µm Porosität: 35–40 %
Biegefestigkeit: 6 kgf/cm² (MPa) Volumenverhältnis: 2,28 g/cm³
Spannfutter aus porösem Siliziumkarbid
Je nach Verwendungszweck werden die Chucks unterteilt in:
Dünnungsmaschine ausgestattet mit: Dünnungsfutter, Siliziumwafer, Saphirsubstrat und anderen Dünnungsmaterialien;
Die Trennsäge ist ausgestattet mit: Trennfutter, Siliziumwafer, Halbleiterverbindungswafer und anderen Schneidvorrichtungen;
Reinigungsmaschine ausgestattet mit: Reinigungsfutter;
Die Folienentfernungsmaschine ist ausgestattet mit: Folienentfernungsfutter;
Laminiergerät ausgestattet mit: Laminierfutter;
Druckmaschine ausgestattet mit: Druckfutter.
Qualitätssicherung
Fountyl verfügt über langjährige technische Erfahrung in der Präzisions- und Ultrapräzisionsbearbeitung und -herstellung von Keramik, über eine Vielzahl physikalischer und chemischer Analysegeräte sowie geometrischer Messinstrumente, um die Stabilität der Produktion und die Konsistenz des Produkts für poröse Keramikspannfutter zu gewährleisten.
Produktanwendung
Poröse Keramikspannfutter sind Komponenten, die in der Halbleiterfertigung eingesetzt und auf Ritzmaschinen oder Inspektionsgeräten montiert werden. Sie nutzen die poröse Struktur und den Unterdruck der Arbeitsfläche, um dünne Siliziumwafer plan zu halten. Da die Ritzmaschine Siliziumwafer mit einer Breite von ca. 20 µm schneidet, sind die Anforderungen an die Planheit und Parallelität der Wafer-Adsorptionsfläche sehr hoch. Unterschiedliche Porenstrukturen eignen sich aufgrund ihrer Eigenschaften für verschiedene Anwendungsbereiche: Mikroporöse Keramiken mit großer spezifischer Oberfläche und kleiner Porengröße werden üblicherweise in der Bakterienfiltration und mikrobiellen Fixierung eingesetzt; mesoporöse Keramiken mit ihrer spezifischen Durchmesserverteilung finden häufig Anwendung in der Trenntechnik und Adsorptionskatalyse; makroporöse Keramiken eignen sich in der Regel für die Grobfiltration von Substanzen mit hohem Anteil und großer Partikelgröße.