Poröses Keramikfutter
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Poröses Keramikfutter
Eigenschaften des porösen Keramikfutters
Starke Durchlässigkeit: gleichmäßige Luft- und Wasserdurchlässigkeit, um die gleichmäßige Kraft und feste Adsorption des Siliziumwafers im Schleifprozess ohne Rutschen zu gewährleisten.
Dichte und gleichmäßige Struktur: Verwendung von mikroporösem Keramikmaterial mit dichter und gleichmäßiger Struktur, das Siliziumstaub nicht so leicht aufnimmt und dessen Spannfutter leicht zu reinigen ist.
Hohe Festigkeit: Keine Verformung während des Schleifens, um sicherzustellen, dass der Siliziumwafer beim Schleifen an jedem Punkt gleichmäßig beansprucht wird und es nicht so leicht zu Kanteneinbrüchen und Ablagerungen kommt.
Lange Lebensdauer: Die Formbeständigkeit der Oberfläche ist gut, der Abrichtzyklus ist lang und die Abrichtmenge gering, sodass eine hohe Lebensdauer erreicht wird.
Einfaches Anrichten: Beim Anrichten kommt es nicht zu Rissen, Fragmentierungen oder Drescherscheinungen.
Leichtgewicht: Aufgrund der inneren Porenstruktur beträgt der spezifische Schwerkraftkoeffizient 1,6–2,8.
Hohe Isolierung: Isoliermaterial, beseitigt statische Elektrizität.
Genauigkeitskontrolle
| Kategorie | Basismaterial | Adsorptionsoberflächenmaterial | Größe | Ebenheit | Tiefe der Parallelität |
| Poröses Keramikfutter | Aluminiumlegierung | Poröses SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Edelstahl | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Aluminiumoxid | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Siliziumkarbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Das poröse Keramikfutter verfügt über eine vollständige Palette an Spezifikationen und Größen, die in der 3-Zoll-Linie, 4-Zoll-Linie, 5-Zoll-Linie, 6-Zoll-Linie, 8-Zoll-Linie und 12-Zoll-Linie verwendet werden können, und kann entsprechend den von Ihnen benötigten Spezifikationen und Größen angepasst werden. | |||||
| Die maximale Größe des aktuellen Gehäuses beträgt: 1600 x 1600 m, Dicke 50 mm; | |||||
Eigenschaften poröser Keramikmaterialien:
Hauptbestandteile: Aluminiumoxid. Farbe: Schwarz, Eisengrau.
Aluminiumoxidgehalt: 92 % Feuchtigkeitsgehalt: 0 %
Öffnung: 2~30 µm Porosität: 35~40 %
Biegefestigkeit: 6 kgf/cm2 (Mpa) Volumenverhältnis: 2,28 g/cm3
Futtertyp aus porösem Siliziumkarbid
Je nach Verwendungszweck werden die Spannfutter unterteilt in:
Ausdünnungsmaschine ausgestattet mit: Ausdünnungsfutter, Siliziumwafer, Saphirsubstrat und anderen Ausdünnungselementen;
Die Dicing-Säge ist ausgestattet mit: Dicing-Chuck, Silizium-Wafer, Halbleiter-Verbindungs-Wafer und anderen Schneidevorrichtungen;
Reinigungsmaschine ausgestattet mit: Reinigungsfutter;
Die Filmentfernungsmaschine ist ausgestattet mit: Filmentfernungsfutter;
Laminiergerät ausgestattet mit: Laminierfutter;
Druckmaschine ausgestattet mit: Druckfutter.
Qualitätssicherung
Fountyl verfügt über langjährige technische Erfahrung in der Präzisions- und Ultrapräzisionsverarbeitung und -herstellung von technischer Keramik sowie über eine Vielzahl physikalischer und chemischer Analysegeräte und geometrischer Messinstrumente, um die Produktionsstabilität und Produktkonsistenz für poröse Keramikspannfutter zu gewährleisten.
Produktanwendung
Poröse Keramikhalter sind Komponenten, die in der Halbleiterfertigung verwendet und auf Ritzmaschinen oder Prüfgeräten montiert werden. Sie nutzen die poröse Struktur und den Unterdruck der Werkbankoberfläche, um dünne Siliziumwafer flach zu halten. Die Ritzmaschine schneidet Siliziumwafer mit einer Breite von etwa 20 μm, daher sind die Anforderungen an Ebenheit und Parallelität der Adsorptionsoberfläche des Wafers sehr hoch. Je nach ihren jeweiligen Eigenschaften haben unterschiedliche Porenstrukturen unterschiedliche Anwendungsbereiche. Mikroporöse Keramiken mit großer spezifischer Oberfläche und kleiner Porengröße werden beispielsweise üblicherweise in der Bakterienfiltration und Mikrobenfixierung eingesetzt. Mesoporöse Keramiken mit ihrer spezifischen Durchmesserverteilung werden häufig in den Bereichen Trennung und Adsorptionskatalyse eingesetzt. Makroporöse Keramiken eignen sich üblicherweise zur Grobfiltration von Substanzen mit hohem Inhalt und großer Größe.