Produkte

01

PEEK-Bauteile, spezialisiert für Halbleiter

02

Für nanometergroße Bewegungsplattformen werden hochpräzise Siliziumkarbid-Führungsschienen verwendet.

03

Für hochpräzise Spindeln werden hochpräzise Siliziumkarbid-Vierkantprofile verwendet.

04

Wafer-Stift-Siliziumkarbid-Spannfutter (Wafer-Spannfutter, Vorjustier-Spannfutter)

05

Ringnut-Keramikfutter

06

Poröses Keramikfutter

07

Keramischer Endeffektor, Keramikarm aus Aluminiumoxid oder Siliziumkarbid

08

Präzisionskeramikkolben mit 3 Mikron Spalt zwischen Buchse und Kolbenstange.

09

Keramische Strukturbauteile (Keramikteile) mit kundenspezifischer Anpassung

10

Keramische Luftschwimmplattform mit berührungsloser Handhabung

11

Strukturteile aus Quarzglas (Quarzteile)

12

Strukturbauteil aus Aluminium-Siliziumkarbid mit hoher Genauigkeit

13

Elektrostatische Spannvorrichtungen, die in Halbleiterfertigungsprozessen eingesetzt werden