Quadratischer Träger und Führungsschiene für hochpräzise Bewegungsplattform und Erkennungsgeräte

Nehmen wir als Beispiel die Vakuum-Chuck-Baugruppe: Das in der frühesten 2-Zoll- und 4-Zoll-Wafer-Ära verwendete Material war Luftfahrtaluminium, doch im Zeitalter der Großformate stößt man auf den Engpass der ultrahohen Ebenheit (besser als 1 Mikrometer). Wafer (8 Zoll und mehr als 8 Zoll), die den harten Index der ultrahohen Ebenheit nicht erfüllen können und eliminiert werden. Als nächstes Aluminiumoxidmaterial als Übergang, sein Elastizitätsmodul, sein geringes Gewicht, seine Wärmeleitfähigkeit und sein Ausdehnungskoeffizient sowie Siliziumkarbid-Zwerg, aber nicht auf einige peinliche; Nach dem Durchbruch in der Herstellungstechnologie von großformatigen und komplexen, speziell geformten Siliziumkarbidkeramiken mit Hohlstruktur wurden Komponenten wie die ultrapräzise Werkstückbasis, die ultrapräzise Luftschwimmerführung und der Wafer-Übertragungsarm verbessert.

Nicht nur die oben genannten Siliziumkarbid-Keramikteile, die die ultrahochpräzisen Hartindikatoren für Ebenheit, Parallelität und Vertikalität erfüllen, sondern auch die hochreinen Siliziumkarbid-Keramikteile, die für Waferdiffusions-, Dotierungs- und Ätzprozesse in der Halbleiterindustrie erforderlich sind , insbesondere in der hochreinen CVDSiC-Materialvorbereitungstechnologie, verfügt über eine ausgereifte Prozesstechnologie und hat die Herstellung von hochreinem Siliziumkarbid-Keramik-Kristallboot, Siliziumkarbid-Keramik-Lagerplatte, Siliziumkarbid-Keramik-Luftschwimmbewegungsplattform und Siliziumkarbid Ultra realisiert -Präzise bewegliche Plattform, Siliziumkarbid-Führungsschiene, Siliziumkarbid-Gleitschienenkomponenten.

In Zukunft werden wir die Anwendung von Siliziumkarbidmaterialien in der Halbleiterindustrie weiter ausbauen und zur Modernisierung der Halbleiterindustriekette und der Siliziumkarbidkeramikindustrie beitragen. Chinas unabhängige Forschung zu Präzisions-Siliziumkarbid-Keramikkomponenten und die Förderung inländischer Anwendungen haben gerade erst begonnen. Mit der kräftigen Entwicklung der Halbleiterindustrie wird die Marktnachfrage nach dieser Art von High-End-Keramikstruktur immer größer, Siliziumkarbid mit seinen hervorragenden physikalischen und chemische Eigenschaften, in der Halbleiterindustrie hat breite Anwendungsaussichten.