Keramischer Vierkantbalken für ultrapräzise Bewegungsplattform und Detektionsgeräte

Die Anwendung von Siliziumkarbid-Keramikstrahlen:

Es handelt sich um eine der Kernkomponenten einer Lithografiemaschine. Seine Hauptfunktion besteht darin, den Wafer entlang einer vorgeschriebenen Bahn zu führen, um die Hochgeschwindigkeits-Präzisionsbewegung und die erforderlichen Aktionen auszuführen, um die Belichtungsreihe abzuschließen, einschließlich des oberen und unteren Teils, der Ausrichtung, der Messung der Waferoberfläche und der Belichtung.

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Produktbeschreibung

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Der Produktmerkmal

Siliziumkarbidkeramik verfügt nicht nur bei Raumtemperatur über hervorragende mechanische Eigenschaften wie hohe Biegefestigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Korrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit und einen niedrigen Reibungskoeffizienten, sondern zeichnet sich auch durch hohe mechanische Eigenschaften bei hohen Temperaturen (Festigkeit, Kriechfestigkeit usw.) aus, die für Keramikmaterialien bekannt sind. Siliziumkarbid zeichnet sich durch Korrosionsbeständigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit, hohe Festigkeit, gute Wärmeleitfähigkeit und Schlagfestigkeit aus.

1. Hohe Festigkeit

2. Hohe TemperaturbeständigkeitDas

3. Starkes cKorrosionsbeständigkeit

4. Hoch oOxidationsbeständigkeit

5. Gute Thermoschockbeständigkeit

6. Hohe Wärmeleitfähigkeit

Zweck:

Ultrapräzise Bewegungsplattformen, präzisere Erkennungsgeräte.

Kundenspezifische Produkte können nach Muster oder Zeichnung hergestellt werden.

Halbleiterspezifische Geräte und Präzisionsprüfgeräte stellen extrem hohe Anforderungen an Kernkomponenten.

RAnforderungen: Ultraleichtgewicht (reduziert Bewegungsträgheit und Motorlast), ultrahohe Stabilität (Ultrapräzisionsverarbeitung erfordert hochpräzise Bewegung und Positionierung und minimale Dimensionsverformung aufgrund von Faktoren wie Wärmeausdehnung) und Sauberkeit (hohe Härte und hohe Verschleißfestigkeit) können die technischen Anforderungen für die Herstellung von großen, hohlen, dünnwandigen, komplex strukturierten und präzisen Siliziumkarbid-Strukturkomponenten für Präzisionsgeräte erfüllen.

Vorteile von Fountyl:

1, japanische Technologie, unabhängig Forschung und Entwicklung und Herstellung von Siliziumkarbid-Keramikmaterialien;

2, Ter am längsten Strahl Größe: 1600 mm

3, SStrukturanpassung: Leichtbaustruktur, Inacht-reduzierende StrukturS dürfen gestaltet werden.

4, Hhohe Präzision: ultrahohe Präzision, je nach Struktur und Größe, bitte bestätigen Die Genauigkeit mit dem Kunden.

5, Cund wählen Sie das Material: AluMina-Keramik, SiliziumkarbidkeramikS.