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링 그루브 척은 반도체 생산 장비에서 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 및 다양한 공작물과 재료를 흡수, 고정, 이송 및 처리하는 데 널리 사용됩니다.

주요제품

링 그루브 척은 반도체 생산 장비에서 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 및 다양한 공작물과 재료를 흡수, 고정, 이송 및 처리하는 데 널리 사용됩니다.

링 그루브 척 (그루브 척)은 고온 저항, 내식성, 내마모성 및 기타 특성을 갖춘 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 산업용 척입니다. 일반적으로 탄화규소 또는 알루미나 세라믹 재료로 만들어집니다.


반도체 생산 장비에서 실리콘 웨이퍼, 웨이퍼 및 다양한 공작물과 재료를 흡수, 고정, 이송 및 처리하는 데 널리 사용됩니다.

    고온 저항:탄화 규소 및 알루미나 세라믹 재료는 우수한 고온 성능을 가지며 고온 환경에서 오랫동안 사용할 수 있으며 변형이나 파손이 쉽지 않습니다.

    내식성:다양한 화학적 부식을 견딜 수 있어 작업 환경에서 부식성 액체나 가스를 처리하는 데 적합합니다.

    내마모성:경도가 높고 내마모성이 좋아 오랫동안 고장 없이 사용할 수 있습니다.

    강력한 흡착력:홈구조로 척의 접촉면적을 줄여 단위면적의 흡착력을 높여 공작물을 더욱 견고하게 흡착할 수 있습니다.

    높은 안정성:소재의 특성상 척의 안정성이 높아 오랫동안 안정적으로 작동할 수 있습니다.

    프로세스 제어

    높은 정밀도: 직경 12인치, 평탄도는 2μm 이내로 제어됩니다. 더 정확한 정보가 필요하시면 이메일을 보내주세요.

    모양 제어:웨이퍼 형상에 따라 척 형상을 조정합니다.

    흡수 반응성:사양에 따라 맞춤형 디자인.

    제품 응용

    링 그루브 척은 실리콘 웨이퍼뿐만 아니라 다양한 기타 공작물 및 재료를 흡수, 고정, 이송 및 처리하기 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공함으로써 반도체 생산 공정에서 중추적인 역할을 합니다. 이 다목적 도구는 반도체 제조 장비의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되어 생산 작업 흐름 전반에 걸쳐 정밀도와 안정성을 보장합니다.

    링 그루브 척의 주요 기능 중 하나는 생산 공정의 다양한 단계에서 실리콘 웨이퍼 및 기타 민감한 재료를 제자리에 안전하게 흡수하고 고정하는 능력입니다. 높은 수준의 그립감과 안정성은 웨이퍼의 미끄러짐이나 손상 위험을 최소화하여 반도체 생산의 전반적인 품질과 수율에 기여합니다.

    또한, 링 그루브 척은 서로 다른 처리 스테이션 간에 실리콘 웨이퍼와 공작물의 이송을 용이하게 하여 원활한 작업 흐름 자동화와 운영 효율성을 가능하게 합니다. 정확한 위치 지정과 안정적인 그립으로 원활하고 정확한 이동을 보장하여 정렬 불량이나 잘못된 취급 가능성을 줄입니다.

    링 그루브 척은 실리콘 웨이퍼를 처리하는 주요 기능 외에도 광범위한 작업물과 재료를 수용할 수 있을 만큼 다용도가 뛰어나 반도체 생산 공정에 유연성을 더해줍니다. 이러한 적응성은 다양한 제조 응용 분야에 필수적인 도구가 되어 생산성과 운영 민첩성을 높이는 데 기여합니다.

    전반적으로 링 그루브 척은 반도체 생산 장비의 필수 구성 요소로, 실리콘 웨이퍼, 공작물 및 재료의 흡수, 고정, 이송 및 취급에 있어 비교할 수 없는 신뢰성과 성능을 제공합니다. 반도체 제조 공정의 효율성과 정밀도에 대한 기여는 부인할 수 없으며 현대 반도체 생산의 초석이 됩니다.