웨이퍼핀 실리콘 카바이드 척
웨이퍼 핀용 실리콘 카바이드 척(웨이퍼 클램핑, 프리얼라이너 척)
특징
고온 저항성: 탄화규소 및 알루미나 세라믹 소재는 고온 성능이 우수하여 고온 환경에서 장시간 사용해도 변형이나 파손이 쉽게 발생하지 않습니다.
내식성: 다양한 화학적 부식에 견딜 수 있어 작업 환경에서 부식성 액체 또는 가스를 취급하는 데 적합합니다.
내마모성: 높은 경도와 우수한 내마모성을 지녀 고장 없이 오랫동안 사용할 수 있습니다.
강력한 흡착력: 볼록한 점 구조는 프리얼라이너 척의 접촉 면적을 줄여 단위 면적당 흡착력을 증가시키고 공작물을 더욱 단단하게 흡착할 수 있도록 합니다.
높은 안정성: 재질 특성상 웨이퍼 핀용 탄화규소 척은 안정성이 뛰어나며 장시간 안정적으로 작동할 수 있습니다.
오염을 줄이세요:탄화규소 척은 접촉 면적을 줄이고, 오염을 감소시키며, 뒤틀림 보정 기능을 향상시키기 위해 홈형에서 핀형으로 진화하고 있습니다.
공정 제어
높은 정밀도: 직경 12인치, 평탄도는 5μm 이내로 관리됩니다. 더 높은 정밀도가 필요하시면 이메일로 문의해 주세요.
형상 제어: 웨이퍼 형상에 따라 웨이퍼 클램핑 형상을 조정합니다(비균일성 제어).
흡수 반응성: 사양에 따른 맞춤형 설계.
저희 서비스
웨이퍼 핀용 탄화규소 척의 선택은 척의 필요한 직경, 볼록점의 개수, 척의 모양 등 여러 요소를 고려하여 흡착 대상의 크기, 무게 및 작업 환경의 요구 사항에 따라 적절하게 선택해야 합니다.
당사는 정밀 평면 가공 기술을 채택하고, 고객 맞춤형 설계를 통해 고객의 엄격한 요구 사항을 충족하는 최상의 프리얼라이너 척을 제공합니다.
탄화규소 척의 평평한 모양은 웨이퍼 모양에 따라 자유롭게 조절할 수 있으며, 흡착 영역 또는 핀 패턴을 맞춤 제작하여 흡착 반응성을 향상시킬 수 있습니다.
재질: 산화알루미늄 세라믹 또는 탄화규소를 선택할 수 있으며, 표면에 DLC 및 테플론 도금을 할 수 있습니다.
웨이퍼 노광, 검사, 이송 공정을 위해 높은 유연성, 뛰어난 평면성, 그리고 열악한 작업 환경에 대한 탁월한 내성을 갖춘 고정밀 웨이퍼 핀 SiC/SSiC 척이 개발되고 있습니다.
정밀도 테스트 데이터
애플리케이션
반도체 노광 장치의 웨이퍼 고정; 웨이퍼 검사 장치의 웨이퍼 고정.