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주요제품
반도체 노광장치 및 웨이퍼 검사장치에 사용되는 웨이퍼 핀척
특징
고온 저항:탄화 규소 및 알루미나 세라믹 재료는 우수한 고온 성능을 가지며 고온 환경에서 오랫동안 사용할 수 있으며 변형이나 파손이 쉽지 않습니다.
내식성:다양한 화학적 부식을 견딜 수 있어 작업 환경에서 부식성 액체나 가스를 처리하는 데 적합합니다.
내마모성:경도가 높고 내마모성이 좋아 오랫동안 고장 없이 사용할 수 있습니다.
강력한 흡착:볼록한 점 구조는 흡입 컵의 접촉 면적을 줄여 단위 면적당 흡착력을 높이고 작업 물을보다 단단히 흡착 할 수 있습니다.
높은 안정성:웨이퍼 핀척은 소재의 특성상 안정성이 높아 장기간 안정적으로 작동할 수 있습니다.
오염을 줄이다:세라믹 웨이퍼 척은 접촉 면적을 줄이고 오염을 줄이며 뒤틀림 보정을 개선하기 위해 홈에서 핀으로 진화하고 있습니다.
프로세스 제어
높은 정밀도: 직경 12인치, 평탄도는 5μm 이내로 제어됩니다. 더 정확한 정보가 필요하시면 이메일을 보내주세요.
형상 제어: 웨이퍼 형상에 따라 척 형상을 조정합니다(불균일 제어).
흡수반응성 : 사양에 따른 맞춤형 디자인.
우리의 서비스
웨이퍼 핀척의 선택은 필요한 흡착컵의 직경, 볼록한 점의 수, 척의 형상 등 여러 요소를 고려하여 흡착체의 크기, 무게에 따라 적절한 선택을 해야 합니다. 작업 환경의 개체 및 요구 사항.
정밀 평면 가공 기술을 도입하여 맞춤형 맞춤형 디자인을 구현하고, 고객의 엄격한 요구사항을 충족할 수 있는 최고의 웨이퍼 핀척을 제공합니다.
핀척의 플랫 형상은 웨이퍼 형상에 따라 자유롭게 조절할 수 있으며, 흡착 면적이나 핀 패턴을 맞춤화하여 흡착 응답성을 향상시킬 수 있습니다.
재질 : 산화 알루미늄 세라믹 또는 탄화 규소를 선택할 수 있으며 표면에 DLC 및 Teflon 도금이 가능합니다.
웨이퍼 노광, 검사, 운송 공정을 위해 유연성이 뛰어나고 평평하며 열악한 작업 환경에 대한 내구성이 뛰어난 고정밀 SiC/SSiC 웨이퍼 핀척이 개발되고 있습니다.
정밀 테스트 데이터
애플리케이션
반도체 노광장치의 웨이퍼 고정; 웨이퍼 검사 장치의 웨이퍼 고정.