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Carbure de silicium utilisé pour les pièces résistantes à la corrosion, les pièces d'étanchéité, les pièces résistantes aux hautes températures, les rails de guidage et les poutres carrées
Les céramiques de carbure de silicium ont d'excellentes propriétés mécaniques à température normale, telles qu'une résistance élevée, une dureté élevée, un module élastique élevé, une excellente stabilité à haute température, telle qu'une conductivité thermique élevée, un faible coefficient de dilatation thermique et une bonne rigidité spécifique et des propriétés de traitement optique, particulièrement adaptées. pour la préparation de machines de photolithographie et d'autres équipements de circuits intégrés pour pièces structurelles en céramique de précision. Tels qu'utilisés dans la table de pièce mobile de précision de la machine de photolithographie, le squelette, la ventouse, la plaque refroidie à l'eau et le miroir de mesure de précision, la grille et d'autres pièces structurelles en céramique, le nouveau matériau Fountyl après des années de recherche technique, résout la grande taille et la paroi mince, structures creuses et autres structures complexes de pièces structurelles en carbure de silicium, problèmes de traitement et de préparation de précision, brisant le goulot d'étranglement technique de ce type de technologie de préparation de pièces structurelles en carbure de silicium de précision. Cela a grandement favorisé la localisation des pièces structurelles clés utilisées dans les équipements de fabrication de circuits intégrés.
● Les céramiques de carbure de silicium comprennent principalement le carbure de silicium fritté sans pression (SSiC), le carbure de silicium fritté par réaction (RBSC), le carbure de silicium par dépôt chimique en phase vapeur (CVD-SiC).
● Le carbure de silicium possède une variété d'excellentes propriétés : super dur, résistance à l'usure, conductivité thermique et résistance mécanique élevées, faible coefficient de dilatation thermique, excellente stabilité thermique, faible densité, rigidité spécifique élevée, non magnétique.
● À l'heure actuelle, les céramiques de carbure de silicium sont utilisées dans diverses industries telles que l'aviation, l'aérospatiale et l'industrie nucléaire, telles que les pièces en céramique d'équipements haut de gamme pour les réflecteurs en céramique de carbure de silicium et la fabrication de circuits intégrés IC, les échangeurs de chaleur et les matériaux pare-balles dans des conditions extrêmes.
Caractéristiques des pièces structurelles en céramique de précision pour équipements de fabrication de circuits intégrés :
① Très léger : afin de réduire l'inertie du mouvement, de réduire la charge du moteur, d'améliorer l'efficacité du mouvement, la précision du positionnement et la stabilité, les pièces structurelles utilisent généralement une conception de structure légère, le taux de légèreté est de 60 à 80 %, jusqu'à 90 % ;
② Précision de forme et de position élevée : afin d'obtenir un mouvement et un positionnement de haute précision, les pièces structurelles doivent avoir une précision de forme et de position extrêmement élevée, la planéité, le parallélisme et la perpendiculaire doivent être inférieurs à 1 μm, et la forme et la précision de la position doit être inférieure à 5 μm.
③ Stabilité dimensionnelle élevée : afin d'obtenir un mouvement et un positionnement de haute précision, les pièces structurelles doivent avoir une stabilité dimensionnelle extrêmement élevée, pour ne pas produire de contrainte, et une conductivité thermique élevée, un faible coefficient de dilatation thermique, pas facile de produire une déformation dimensionnelle importante. ;
④ Propre et sans pollution. Les pièces structurelles doivent avoir un coefficient de frottement extrêmement faible, une faible perte d'énergie cinétique pendant le mouvement et aucune pollution par les particules de broyage. Le matériau en carbure de silicium a un module d'élasticité, une conductivité thermique et un faible coefficient de dilatation thermique très élevés, n'est pas facile à produire une déformation par contrainte de flexion et une déformation thermique, et a une excellente aptitude au polissage, peut être usiné pour obtenir un excellent miroir ; Par conséquent, il présente de grands avantages d'utiliser le carbure de silicium comme matériau structurel de précision pour les équipements clés des circuits intégrés tels que les machines de photolithographie. Le carbure de silicium présente les avantages d'une bonne stabilité chimique, d'une résistance mécanique élevée, d'une conductivité thermique élevée et d'un faible coefficient de dilatation thermique. et peut être appliqué à haute température, haute pression, corrosion et rayonnement dans des environnements extrêmes.
Le carbure de silicium présente les avantages d'une bonne stabilité chimique, d'une résistance mécanique élevée, d'une conductivité thermique élevée et d'un faible coefficient de dilatation thermique, et peut être appliqué à haute température, haute pression, corrosion et rayonnement dans des environnements extrêmes.
L'équipement clé du circuit intégré exige que les matériaux des composants présentent les caractéristiques de légèreté, de haute résistance, de conductivité thermique élevée et de faible coefficient de dilatation thermique, et soient denses et uniformes sans défauts. Les composants doivent avoir une précision dimensionnelle et une stabilité dimensionnelle extrêmement élevées pour garantir un mouvement et un contrôle ultra précis de l'équipement. Les céramiques de carbure de silicium ont un module élastique élevé et une rigidité spécifique, ne se déforment pas facilement, et ont une conductivité thermique élevée et un faible coefficient de dilatation thermique, une stabilité thermique élevée, de sorte que la céramique de carbure de silicium est un excellent matériau structurel, actuellement dans la fabrication de circuits intégrés de équipement clé pour obtenir une large gamme d'applications, telle qu'une machine de lithographie avec table de travail en carbure de silicium, rail de guidage, réflecteur, mandrin en céramique et effecteur final en céramique.
Fountyl peut rencontrer la machine de photolithographie en tant que représentant de l'équipement clé de fabrication de circuits intégrés avec une grande taille, une paroi mince creuse, une structure complexe, une technologie de préparation de pièces structurelles en carbure de silicium de précision, telle que : mandrin à vide en carbure de silicium, rail de guidage, réflecteur, table de travail et une série de pièces structurelles de précision en carbure de silicium pour machine de photolithographie.
| Propriétés | Fountyl | ||
| Densité (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Module de Young (GPa) | 368 | ||
| Résistance à la flexion (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8h35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2 × 10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Conductivité thermique (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Coefficient de Poisson | 0,187 | ||
| Module de cisaillement (GPa) | 155 | ||