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自動車、半導体、大型集積回路に使用される酸化ベリリウムセラミック部品

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自動車、半導体、大型集積回路に使用される酸化ベリリウムセラミック部品

酸化ベリリウムセラミックスは、酸化ベリリウム(BeO)を主成分とした先端セラミックスです。 主に大規模集積回路基板、高出力ガスレーザー管、トランジスタの放熱シェル、マイクロ波出力窓、中性子減速材などの材料として使用されます。

酸化ベリリウムの融点は2530~2570℃、理論密度は3.02g/cm3です。 1800℃真空、2000℃不活性雰囲気、1800℃酸化雰囲気でも長時間使用可能です。 酸化ベリリウムセラミックスの最も優れた性能は、アルミニウムと同等、アルミナの6~10倍の高い熱伝導率です。 これは、独特の電気的、熱的、機械的特性を持つ誘電体材料です。

    酸化ベリリウムセラミックスの利点

    酸化ベリリウムセラミックは、高熱伝導率、高融点、高強度、高絶縁性、高い化学的および熱的安定性、低誘電率、低誘電損失、および優れたプロセス適応性という特徴を備えています。 特殊冶金、真空電子技術、原子力技術、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス技術で広く使用されています。

    酸化ベリリウムセラミックスの応用

    1. 高出力電子デバイス・集積回路分野

    酸化ベリリウムセラミックの高い熱伝導率と低い誘電率は、電子技術の分野で酸化ベリリウムセラミックが広く応用される主な理由です。

    (1) 電子基板の応用において、酸化ベリリウム基板は、当社のよく知られたアルミナ基板と比較して、同じ厚さで 20% 高い周波数で使用でき、44GHz もの高い周波数で動作することができます。 通信、生放送衛星、携帯電話、パーソナル通信、基地局、衛星送受信、航空電子工学、および全地球測位システム (GPS) で一般的に使用されます。

    (2) 酸化ベリリウムセラミックはアルミナセラミックと比較して熱伝導率が高いため、高出力デバイスで発生した熱をタイムリーかつ効果的に伝導し、より大きな連続波出力に耐えることができ、デバイスの安定性と信頼性を確保します。デバイス。 したがって、TWTのエネルギー入力ウィンドウ、サポートロッド、降圧コレクタなどの広帯域高出力電子真空デバイスにも広く使用されています。

    2. 原子力技術材料分野

    原子力エネルギーの開発と利用は、エネルギー不足の問題を解決するための重要な手段です。 原子力技術を合理的かつ効果的に利用することで、社会生産に電力と熱を供給するための膨大なエネルギーを提供することができます。 いくつかのセラミック材料も原子炉の重要な材料の1つであり、核燃料の中性子反射板や減速材(減速材)には通常BeO、B4C、または黒鉛材料が使用されます。 酸化ベリリウムは、原子炉の中性子減速材および放射線防護材料として使用できます。 さらに、BeOセラミックスは高温照射安定性がベリリウム金属より優れており、密度がベリリウム金属より大きく、高温でも強度と熱伝導率が非常に高く、酸化ベリリウムは金属ベリリウムより安価です。 これにより、原子炉内の反射材、減速材、分散相燃料マトリックスとしての使用により適しています。 酸化ベリリウムセラミックスは原子炉の制御棒として使用でき、U2O(酸化ウラン)セラミックスと組み合わせて核燃料にすることもできます。

    3. 耐火物分野

    酸化ベリリウムセラミックスは耐火材料であり、シールド、ライニング、熱電対チューブ、カソード、サーモトロン加熱基板およびコーティングを保護するための発熱体の耐火支持ロッドとして使用できます。

    4. その他の分野

    上記のいくつかのカテゴリーの用途に加えて、酸化ベリリウムセラミックには他の多くの用途があります。

    (1) BeO は、さまざまな組成のガラスに成分として添加できます。 酸化ベリリウムを含むガラスは X 線を透過することができ、このガラスで作られた X 線管は構造分析や皮膚疾患の治療に使用できます。 酸化ベリリウムは、ガラスの比重、耐水性、硬度の増加、膨張係数、屈折率、化学的安定性の増加など、ガラスの特性に影響を与えます。 分散係数の高い特殊なガラス部品としてだけでなく、紫外線を通すガラス部品としても使用できます。

    (2) 高純度 BeO セラミックスは優れた熱伝達性能を持ち、ロケット ヘッド コーンの製造に使用できます。

    (3) BeO は、特定の線 (膨張) 膨張係数と金属セラミック製品の特殊な熱特性を備えた BE、Ta、Mo、Zr、Ti、Nb 金属で製造できます。たとえば、スプレー金属 BeO ライニングは自動車に使用されます。フォードおよびゼネラルモーターズ社の点火装置。