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耐食部品、シール部品、耐高温部品、ガイドレール、角梁などに使用される炭化ケイ素
炭化ケイ素セラミックスは、高強度、高硬度、高弾性率などの常温での優れた機械的特性、高熱伝導率、低熱膨張係数などの優れた高温安定性、優れた比剛性および光学加工特性を有しており、特に適しています。精密セラミック構造部品用のフォトリソグラフィー装置およびその他の集積回路装置の準備用。 フォトリソグラフィー機械の精密移動ワークピーステーブル、スケルトン、吸盤、水冷プレートおよび精密測定ミラー、回折格子およびその他のセラミック構造部品に使用されるなど、長年の技術研究を経たFountyl新素材は、大型、薄壁、炭化ケイ素構造部品の中空およびその他の複雑な構造の精密加工と準備の問題、この種の精密炭化ケイ素構造部品の準備技術の技術的ボトルネックを突破します。 これにより、集積回路製造装置に使用される主要な構造部品の国産化が大幅に促進されました。
●炭化珪素セラミックスには、主に常圧焼結炭化珪素(SSiC)、反応焼結炭化珪素(RBSC)、化学蒸着炭化珪素(CVD-SiC)などがあります。
●炭化ケイ素は、超硬、耐摩耗性、高い熱伝導率と機械的強度、低い熱膨張係数、優れた熱安定性、低密度、高い比剛性、非磁性など、さまざまな優れた特性を持っています。
●現在、炭化ケイ素セラミックスは、炭化ケイ素セラミックリフレクターやIC集積回路製造用のハイエンド機器のセラミック部品、熱交換器や極限条件下での防弾材など、航空・宇宙・原子力産業などの様々な産業で応用されています。
集積回路製造装置用精密セラミック構造部品の特長:
① 非常に軽量: 運動慣性を低減し、モーター負荷を軽減し、運動効率、位置決め精度、安定性を向上させるために、構造部品は一般的に軽量構造設計を採用しており、軽量化率は 60 ~ 80%、最大 90% です。
② 高い形状・位置精度:高精度な移動・位置決めを実現するために、構造部品には非常に高い形状・位置精度が要求され、平面度・平行度・直角度は1μm以下が要求され、形状や位置決め精度も非常に高くなります。位置精度は5μm以下が要求されます。
③ 高い寸法安定性:高精度の移動や位置決めを実現するために、構造部品にはひずみを生じない極めて高い寸法安定性と、高い熱伝導率、低い熱膨張係数、大きな寸法変形を生じにくいことが求められます。 ;
④ クリーンで汚染がない。 構造部品には、摩擦係数が極めて低く、移動時の運動エネルギー損失が少なく、砥粒汚染がないことが求められます。 炭化ケイ素材料は、弾性率、熱伝導率、熱膨張率が非常に高く、曲げ応力変形や熱歪みが生じにくく、研磨性に優れ、優れた鏡面に加工できます。 したがって、フォトリソグラフィー装置などの集積回路の主要機器の精密構造材料として炭化ケイ素を使用することには大きな利点があります。炭化ケイ素は、優れた化学的安定性、高い機械的強度、高い熱伝導率、低い熱膨張係数という利点を持っています。高温、高圧、腐食、放射線などの過酷な環境にも適用できます。
炭化ケイ素は、優れた化学的安定性、高い機械的強度、高い熱伝導率、低い熱膨張係数という利点を持ち、高温、高圧、腐食、放射線などの極端な環境下でも使用できます。
集積回路の主要な機器では、構成材料が軽量、高強度、高熱伝導率、低熱膨張係数の特性を持ち、欠陥がなく緻密で均一であることが求められます。 機器の超精密な動作と制御を保証するために、部品には極めて高い寸法精度と寸法安定性が求められます。 炭化ケイ素セラミックスは、弾性率と比剛性が高く、変形しにくく、熱伝導率が高く、熱膨張係数が低く、熱安定性が高いため、優れた構造材料として現在集積回路の製造に使用されています。炭化ケイ素作業台を備えたリソグラフィー装置、ガイドレール、反射鏡、セラミックチャック、セラミックエンドエフェクターなど、幅広い用途を実現するための重要な装置です。
Fountylは、炭化ケイ素真空チャック、ガイドレール、リフレクター、作業テーブルなどの大型、中空薄壁、複雑な構造、精密炭化ケイ素構造部品準備技術を備えた集積回路製造の主要装置の代表としてフォトリソグラフィー装置を満たすことができます。フォトリソグラフィー装置用の一連の精密炭化ケイ素構造部品。
プロパティ | ファウンティル | ||
密度(g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
ヤング率(GPa) | 368 | ||
曲げ強さ(MPa) | 334 | ||
ワイブル | 8.35 | ||
熱膨張係数(×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
400℃ | 3.6×10-6 | ||
800℃ | 4.2×10-6 | ||
1000℃ | 4.6×10-6 | ||
熱伝導率(W/m・k)(20℃) | 160-180 | ||
ポアソン比 | 0.187 | ||
せん断弾性率(GPa) | 155 |