主な製品
セラミックエンドエフェクタ、アルミナまたはシリコンカーバイド材料のセラミックアーム
特徴
耐摩耗性: セラミックエンドエフェクタは耐摩耗性に優れており、長期間にわたって安定した表面状態を維持できます。
耐食性: セラミックエンドエフェクタは腐食性媒体でも動作し、安定した性能を維持します。
耐高温性： セラミックエンドエフェクタは高温環境でも動作し、変形したり溶けたりしにくいため、プロセスの安定性が確保されます。
高精度： セラミックエンドエフェクタは寸法安定性と精度に優れ、高精度な動作が可能です。
軽量： 金属アームに比べて、セラミックエンドエフェクタは通常軽量であるため、機械装置への負荷が軽減されます。
一般的に、アルミナエンドエフェクタは現代の産業で重要な役割を果たしており、その優れた性能により、自動化プロセスの効率的で安定した動作が保証されます。
サービス
半導体産業におけるウエハーハンドリング用セラミックエンドエフェクター、製造機械アクセサリー、パレットなど、お客様のニーズに合わせた様々な精密セラミック製品をご提供いたします。液晶・太陽光発電分野の大型製造装置用部品、電子部品、フレーム、パネル、焼成用治具、基板など、お客様のニーズに合わせた様々な精密セラミック製品をご提供いたします。
セラミックエンドエフェクタ/セラミックアームは、ウェーハハンドリングロボットまたは「エンドエフェクタ」に取り付けられ、シリコンウェーハをテープまたはプロセスルーム内外に搬送するために使用されます。
セラミックを使用する利点は、曲げ強度が高く、耐熱性があり、金属汚染や粒子が除去されるため、たわみが低減されることです。
精密セラミックトレイは、8インチおよび12インチの装置におけるウェーハ固定および小径ウェーハのハンドリングに広く使用されています。セラミックトレイの材質は主に99.6%アルミナ、炭化ケイ素で、お客様のニーズや使用環境に合わせて設計することで、様々な製品や材料を開発することができます。
製品のアプリケーション
半導体製造： セラミックエンドエフェクタは半導体製造プロセスで重要な役割を果たしており、プロセスの精度と安定性を確保するために、シリコンウェーハなどの高価値材料の取り扱いによく使用されます。
機械加工業界: 高精度の加工を必要とする工程では、製品の精度と表面品質を確保するためのツールとしてセラミックエンドエフェクタを使用できます。
医療機器: セラミックエンドエフェクタは外科用ロボットやその他の医療機器に広く使用されており、その高い精度と生体適合性により理想的な選択肢となっています。
化学産業: アルミナエンドエフェクタは、その優れた耐腐食性により、化学産業、特に腐食性媒体のある環境でも広く使用されています。