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主要製品
セラミックエンドエフェクター（セラミックフィンガー、セラミックロボットアーム）
特徴
耐摩耗性:セラミック製エンドエフェクタは耐摩耗性に優れ、安定した表面状態を長期間維持できます。
耐食性:セラミックエンドエフェクタは腐食性媒体でも動作し、安定した性能を維持できます。
高温耐性:セラミック製のエンドエフェクタは高温環境でも使用でき、変形したり溶けたりしにくいため、プロセスの安定性が確保されます。
高精度:セラミックエンドエフェクタは寸法安定性と精度に優れており、高精度な作業が可能です。
軽量：金属製のアームと比較して、セラミック製のエンドエフェクタは通常重量が軽いため、機械装置への負荷が軽減されます。
一般に、セラミックエンドエフェクタは現代の産業において重要な役割を果たしており、その優れた性能により自動化プロセスの効率的かつ安定した動作が保証されます。
サービス
半導体産業におけるウエハーハンドリング用のセラミックエンドエフェクター、製造機械付属品、パレット等、お客様のニーズに応じた各種精密セラミック製品を提供します。 液晶や太陽エネルギー分野の大型製造装置用部品。 電子部品、フレーム、小屋パネル、燃焼器具、基板などの分野では、材料はアルミナセラミックまたは炭化ケイ素を選択できます。
セラミック製のエンドエフェクタ/ハンドリング アームは、ウェハ ハンドリング ロボットまたは「エンド エフェクタ」に取り付けられ、シリコン ウェハをテープまたはプロセス ルームに出入りさせるために使用されます。
セラミックを使用する利点は、高い曲げ強度によるたわみの低減、高温への耐性、金属汚染や粒子の除去です。
精密セラミックトレイは、ウェーハを固定したり、8 インチおよび 12 インチの機械で小径ウェーハを処理したりするために広く使用されています。 セラミックトレイの材質はアルミナ99.6％、炭化ケイ素を主とし、お客様のニーズや環境用途に合わせて設計し、様々な製品・素材を開発することができます。
製品の用途
半導体製造:セラミックエンドエフェクタは、半導体製造プロセスで重要な役割を果たしており、プロセスの精度と安定性を確保するためにシリコンウェーハなどの高価な材料を扱うためによく使用されます。
機械加工産業:高精度の機械加工が必要なプロセスでは、製品の精度と表面品質を確保するツールとしてセラミックエンドエフェクターを使用できます。
医療機器：セラミックエンドエフェクターは手術ロボットやその他の医療機器に広く使用されており、その高精度と生体適合性により理想的な選択肢となっています。
化学工業：セラミックエンドエフェクターは、優れた耐食性により、化学産業、特に腐食性媒体を含む環境でも広く使用されています。