製品

01

半導体向けPEEK部品

02

高精度シリコンカーバイドガイドレールはナノスケールのモーションプラットフォームに使用されます

03

高精度スピンドルには高精度炭化ケイ素角梁が使用されています

04

ウェーハピンシリコンカーバイドチャック（ウェーハクランプ、プリアライナーチャック）

05

リング溝セラミックチャック

06

多孔質セラミックチャック

07

セラミックエンドエフェクタ、アルミナまたはシリコンカーバイド材料のセラミックアーム

08

ブッシングとロッドの間に 3 ミクロンの隙間がある精密セラミックピストン。

09

カスタマイズ可能なセラミック構造部品（セラミック部品）

10

非接触ハンドリングを備えたセラミックエアフローティングプラットフォーム

11

石英ガラス構造部品（石英部品）

12

高精度アルミニウムシリコンカーバイド構造部品

13

半導体製造プロセスに適用される静電チャック