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미세 다공성 세라믹 진공 척
세라믹 진공 척 기능
강한 투과성: 균일한 공기 투과성과 물 투과성을 보장하여 슬라이드 없이 연삭 공정에서 실리콘 웨이퍼의 균일한 힘과 긴밀한 흡착을 보장합니다.
치밀하고 균일한 구조: 치밀하고 균일한 구조의 미세 다공성 세라믹 소재를 채택하여 실리콘 먼지를 흡착하기 어렵고 척 청소가 쉽습니다.
고강도: 연삭 중 변형이 없어 연삭 시 실리콘 웨이퍼가 각 지점에서 균일한 응력을 받도록 하며 가장자리 붕괴, 잔해 현상이 발생하기 쉽지 않습니다.
긴수명 : 표면형상유지가 좋고 드레싱주기가 길고 드레싱량이 적어 수명이 길다.
손쉬운 드레싱 : 드레싱시 균열, 조각화, 타작 현상이 없습니다.
경량 : 기공 내부 구조로 인해 비중 계수가 1.6-2.8입니다.
높은 절연성 : 절연재, 정전기를 제거합니다.
정확도 제어
| 범주 | 기본 재료 | 흡착표면재 | 크기 | 평탄 | 병렬성의 깊이 |
| 다공성 척 | 알루미늄 합금 | 다공성 SIC | ≤12μm | 15μm 이하 | ≤20μm |
| 스테인레스 스틸 | 10μm 이하 | 15μm 이하 | |||
| 알루미나 | ≤5μm | ≤8μm | |||
| 실리콘 카바이드 | ≤3μm | ≤8μm | |||
| 다공성 세라믹 척은 3인치 라인, 4인치 라인, 5인치 라인, 6인치 라인, 8인치 라인, 12인치 라인에 사용할 수 있는 완벽한 사양과 크기를 갖추고 있으며, 필요한 사양과 크기에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다. | |||||
| 현재 케이스의 최대 크기는 1600*1600m, 두께는 50mm입니다. | |||||
다공성 세라믹 재료 특성:
주성분 : 알루미나 색상 : 흑색, 철회색
알루미나 함량: 92% 수분 함량: 0%
조리개: 2~30um 다공성: 35~40%
굽힘강도 : 6kgf/cm2 (Mpa) 부피비 : 2.28g/cm3
세라믹 척 유형
용도에 따라 세라믹 척은 다음과 같이 구분됩니다.
연마 디스크 척, 실리콘 웨이퍼, 사파이어 기판 및 기타 희석 장치가 장착된 희석 기계;
절단기에는 스크라이빙 척, 실리콘 웨이퍼, 반도체 복합 웨이퍼 및 기타 절단 기능이 장착되어 있습니다.
다음을 갖춘 청소 기계: 청소 척;
필름 제거 기계에는 필름 제거 척이 장착되어 있습니다.
다음을 갖춘 라미네이팅 기계: 라미네이팅 척;
다음을 갖춘 인쇄기: 인쇄 척.
품질 보증
Fountyl은 세라믹 척의 생산 안정성과 제품의 일관성을 보장하기 위해 세라믹 정밀 및 초정밀 가공 및 제조, 다양한 물리 및 화학적 분석 장비 및 기하학적 측정 장비 엔지니어링에 대한 다년간의 기술 경험을 보유하고 있습니다.
제품 응용
다공성척(흡착작업대)은 반도체 제조단계에서 사용되는 부품으로 스크라이빙기나 검사장치에 조립됩니다. 작업대 표면의 다공성 구조와 부압을 이용하여 얇은 실리콘 웨이퍼를 평평하게 유지할 수 있는 제품입니다. 스크라이빙기는 실리콘 웨이퍼를 약 20μm 폭으로 절단하기 때문에 웨이퍼 흡착면의 평탄도와 평행도에 대한 요구사항이 매우 높습니다. 각각의 특성에 따라 서로 다른 기공 구조는 서로 다른 적용 범위를 갖습니다. 예를 들어 비표면적이 크고 기공 크기가 작은 미세 다공성 세라믹은 일반적으로 박테리아 여과 및 미생물 고정 분야에 사용됩니다. 특정 직경 분포를 갖는 메조다공성 세라믹은 분리, 흡착 촉매 분야에서 자주 사용됩니다. 거대 다공성 세라믹은 일반적으로 함량이 크고 크기가 큰 물질의 거친 여과에 적합합니다.