① Mjög létt: Til þess að draga úr hreyfitregðu, draga úr mótorálagi, bæta hreyfiskilvirkni, staðsetningarnákvæmni og stöðugleika, nota byggingarhlutar almennt létta uppbyggingu hönnunar, léttur hlutfall er 60-80%, allt að 90%;
② Mikil nákvæmni form- og staðsetningar: Til að ná mikilli nákvæmni hreyfingar og staðsetningar, þarf að burðarhlutirnir hafi mjög mikla form- og staðsetningarnákvæmni, flatleiki, samsíða og hornréttur þarf að vera minni en 1μm, og form og Nauðsynlegt er að staðsetningarnákvæmni sé minni en 5μm.
③ Hár víddarstöðugleiki: Til þess að ná mikilli nákvæmni hreyfingu og staðsetningu, þurfa burðarhlutirnir að hafa mjög mikla víddarstöðugleika, ekki að framleiða álag og mikla hitaleiðni, lágan varmaþenslustuðul, ekki auðvelt að framleiða stóra víddar aflögun ;
④ Hreint og mengunarlaust. Gerð er krafa um að burðarhlutirnir hafi mjög lágan núningsstuðul, lítið hreyfiorkutap við hreyfingu og enga malaagnamengun. Kísilkarbíð efni hefur mjög háan teygjustuðul, hitaleiðni og lágan varmaþenslustuðul, er ekki auðvelt að framleiða beygjuspennu aflögun og hitaálag, og hefur framúrskarandi fægjanleika, hægt að vinna í framúrskarandi spegil; Þess vegna hefur það mikla kosti að nota kísilkarbíð sem nákvæmnisbyggingarefni fyrir lykilbúnað samþættra hringrása eins og ljóslitafræðivél, kísilkarbíð hefur kosti góðs efnafræðilegs stöðugleika, mikillar vélrænni styrkleika, mikillar hitaleiðni og lágs varmaþenslustuðul, og hægt að nota við háan hita, háan þrýsting, tæringu og geislun í erfiðu umhverfi.
Kísilkarbíð hefur kosti góðs efnafræðilegs stöðugleika, mikils vélræns styrks, mikillar varmaleiðni og lágs varmaþenslustuðulls og er hægt að nota við háan hita, háan þrýsting, tæringu og geislun í erfiðu umhverfi.
Lykilbúnaður samþættrar hringrásar krefst þess að íhlutaefnin hafi einkenni létts, mikils styrks, mikillar varmaleiðni og lágs varmaþenslustuðuls og séu þétt og einsleit án galla. Íhlutir þurfa að hafa mjög mikla víddarnákvæmni og víddarstöðugleika til að tryggja mjög nákvæma hreyfingu og stjórn á búnaðinum. Kísilkarbíð keramik hefur mikinn teygjustuðul og sérstakan stífleika, ekki auðvelt að afmynda, og hefur mikla hitaleiðni og lágan varmaþenslustuðul, mikinn hitastöðugleika, svo kísilkarbíð keramik er frábært byggingarefni, sem nú er í samþættri hringrásarframleiðslu. lykilbúnaður til að fá fjölbreytt úrval af forritum, svo sem steinþrykkvél með kísilkarbíð vinnuborði, stýrisbraut, endurskinsmerki, keramik chuck og keramik end effector.
Fountyl getur mætt ljóslitavélinni sem fulltrúi samþættra hringrásarframleiðslu lykilbúnaðar með stórum stærð, holur þunnur vegg, flókna uppbyggingu, nákvæmni kísilkarbíð byggingarhluta undirbúningstækni, svo sem: kísilkarbíð tómarúm chuck, stýribraut, endurskinsmerki, vinnuborð og röð af nákvæmni kísilkarbíð burðarhlutum fyrir ljósþynningarvél.