บ้าน
สินค้า
แท่นลอยอากาศที่มีรูพรุนพร้อมเทคโนโลยีการถ่ายโอนโหลดของโหมดแบบไม่สัมผัสสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
แพลตฟอร์มลอยอากาศแบบดั้งเดิมโดยทั่วไปจะใช้การควบคุมปริมาณรูเล็ก ๆ การควบคุมปริมาณพรูหรือการควบคุมปริมาณกรีดซึ่งมีลักษณะเป็นเทคโนโลยีการประมวลผลที่เรียบง่าย แต่เมื่อความดันอากาศจ่ายเปลี่ยนแปลง มันเป็นเรื่องง่ายที่จะสร้างปรากฏการณ์ผิวปาก เสียงคมชัด และแบริ่ง ความจุยังมีความผันผวน ซึ่งไม่เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีแรงกดดันเงียบและมั่นคง
พื้นผิวกระจก TFT-LCD แบบดั้งเดิมดำเนินการโดยแขนหุ่นยนต์ (หุ่นยนต์) และระบบ AGV (ยานพาหนะนำทางอัตโนมัติ) สารตั้งต้นแก้วในกระบวนการผลิต เป็นการดำเนินการแบบสัมผัสกับแท่นเปลี่ยนน้ำหนักบรรทุก (หรือลูกกลิ้ง) เมื่อพื้นผิวแก้วสัมผัสกับแท่นเลื่อนหรือลูกกลิ้ง การสัมผัสและการเสียดสีทำให้เกิดปัญหาความเสียหายหรือข้อบกพร่องของมุมที่หายไป การแตกร้าว ความเสียหาย การปนเปื้อน และไฟฟ้าสถิตย์บนพื้นผิวของพื้นผิวกระจก แล้วส่งผลต่อการผลิต ผลผลิตและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ นอกเหนือจากการใช้ภาระการถ่ายเทการหมุนของลูกกลิ้งแล้ว ยังคงมีปัญหาทางเทคนิคที่ต้องแก้ไข ปัญหาเหล่านี้ส่งผลกระทบอย่างมากต่อประสิทธิภาพการผลิตของซับสเตรตกระจกขนาดใหญ่ และจำเป็นต้องปรับปรุงอย่างเร่งด่วน หากเทคโนโลยีแพลตฟอร์มลอยตัวแบบไม่สัมผัสสามารถทดแทนปัญหาที่เกิดจากเทคโนโลยีการเปลี่ยนภาระแบบสัมผัสแบบดั้งเดิมได้ ก็จะเป็นวิธีแก้ปัญหาที่มีประสิทธิภาพ ข้อดีของระบบลอยตัวของอากาศ:
1. ไม่มีแรงเสียดทาน
2. การสึกหรอเป็นศูนย์
3. ใช้การเคลื่อนที่แบบตรง, การหมุนแบบหมุน
4. การทำงานเงียบและราบรื่น
5. การหน่วงที่สูงขึ้น
6.ขจัดความมัน
โครงสร้างของแท่นลอยลมประกอบด้วยเซรามิกที่มีรูพรุนนาโนฝังอยู่ในฐานเพื่อสร้างห้องสุญญากาศ อากาศอัดที่สะอาดแบบไร้น้ำและไร้น้ำมันจะถูกป้อนเข้าไปในช่องว่างโหมดอากาศระหว่างพื้นผิวลูกปืนและรางนำอากาศแบบลอยผ่านท่อแก๊ส ก๊าซไหลในช่องว่างโหมดอากาศเพื่อให้พื้นผิวลูกปืนลอยบนรางนำลอยอากาศ ก๊าซทำหน้าที่เป็นสารหล่อลื่นในการเคลื่อนย้ายหรือขนส่งวัตถุโดยไม่มีการเสียดสี
โครงสร้างรูลอยอากาศทั่วไป:
ก) โครงสร้างการควบคุมปริมาณปาก
b) โครงสร้างที่มีรูพรุน
ขนาดที่กำหนดเองที่ใหญ่ที่สุด: ยาว 1600 มม. กว้าง 1,000 มม
อุปกรณ์การลำเลียงและการเลื่อนโหลดแบบไม่สัมผัสส่วนใหญ่เพื่อปรับปรุงปัญหาที่เกิดจากเทคโนโลยีการจัดการแบบดั้งเดิมหลังจากที่พื้นผิวแก้วมีขนาดใหญ่ขึ้น เนื่องจากในกระบวนการลำเลียงและเลื่อนโหลดไม่ได้สัมผัสโดยตรงกับวัตถุการทำงาน ดังนั้นจึงสามารถหลีกเลี่ยงไม่ให้เกิดขึ้นได้ ของการเกาะติดของมลภาวะ ความเครียด ไฟฟ้าสถิต และความเสียหายต่อพื้นผิวกระจก ในทางกลับกัน วัสดุที่มีรูพรุนจะลดการไหลของก๊าซลงอย่างมาก ทำให้ได้แรงดันอากาศที่สม่ำเสมอและการกระจายตัวของเบาะอากาศที่ดี และให้ความสูงลอยตัวที่เพียงพอสำหรับการทำงาน