додому
Продукти
Пориста повітряна плаваюча платформа з технологією передачі навантаження безконтактного режиму для напівпровідникової промисловості
Традиційна повітряна плаваюча платформа, як правило, використовує технологію дроселювання невеликих отворів, дроселювання тора або щілини, яка характеризується простою технологією обробки, але коли змінюється тиск подачі повітря, легко виробляти явище свисту, звук різкий, і підшипник потужність також коливається, що не підходить для тихого та стабільного робочого середовища.
Традиційні скляні підкладки TFT-LCD виконуються роботами (роботами) і системами AGV (автоматично керований транспортний засіб). Скляна підкладка в процесі виробництва. Це контактна операція з платформою (або роликом) для переміщення вантажу. Коли скляна підкладка контактує з платформою або роликом для переміщення навантаження, дотик і тертя спричиняють ці пошкодження або дефекти, проблеми з відсутністю кутів, розтріскування, пошкодження, забруднення та статичну електрику на поверхні скляної підкладки, а потім впливають на виробництво врожайність і якість продукту, на додаток до використання передачі навантаження обертання ролика, все ще мають технічні проблеми, які потрібно подолати. Ці проблеми мають глибокий вплив на ефективність виробництва великих скляних підкладок і терміново потребують удосконалення. Якщо технологія безконтактної повітряної плаваючої платформи може замінити проблеми, пов’язані з традиційною технологією контактного переміщення навантаження, це буде ефективне рішення. Переваги повітряної плаваючої системи:
1. Нульове тертя.
2. Нульовий знос.
3. Прямий рух, рух обертання застосовні.
4. Безшумна та плавна робота.
5. Більше демпфування.
6. Усуньте масло.
Структура повітряної плавучої платформи складається з нанопористої кераміки, вбудованої в основу для формування вакуумної камери. Чисте стиснене повітря, що не містить води та масла, подається в повітряний зазор між опорною поверхнею та повітряною плаваючою направляючою рейкою через газову трубу. Газ тече в зазор повітряного режиму, щоб опорна поверхня плавала на повітряній плаваючій направляючій рейці. Газ діє як мастило для переміщення або транспортування об’єктів без тертя.
Конструкція для звичайного повітряного плаваючого отвору:
a) Дросельна структура отвору
б) Пориста структура
Найбільший індивідуальний розмір: довжина 1600 мм, ширина 1000 мм
Обладнання для безконтактного транспортування та переміщення вантажу в основному призначене для вирішення проблем, викликаних традиційною технологією транспортування після того, як скляна підкладка стає більшою, оскільки процес транспортування та переміщення вантажу не контактує безпосередньо з об’єктом операції, тому можна уникнути виникнення приєднання забруднюючих речовин, напруга, статична електрика та пошкодження скляної основи. З іншого боку, пористий матеріал значно зменшує потік газу, забезпечує рівномірний тиск повітря та хороший розподіл повітряної подушки, а також забезпечує достатню висоту плавання, необхідну для роботи.