Lar
Produtos
Plataforma flutuante de ar poroso com tecnologia de transferência de carga de modo sem contato para indústria de semicondutores
A plataforma flutuante de ar tradicional geralmente adota tecnologia de estrangulamento de pequenos furos, estrangulamento de toro ou estrangulamento de fenda, que é caracterizada por tecnologia de processamento simples, mas quando a pressão do ar fornecido muda, é fácil produzir fenômeno de assobio, o som é agudo e o rolamento a capacidade também flutua, o que não é adequado para um ambiente de trabalho com pressão silenciosa e estável.
Os substratos de vidro TFT-LCD tradicionais são realizados por braços robóticos (robôs) e sistemas AGV (veículo guiado automatizado). Substrato de vidro no processo de produção. É uma operação de contato com a plataforma (ou rolo) de deslocamento de carga. Quando o substrato de vidro está em contato com a plataforma ou rolo de deslocamento de carga, o toque e a fricção causam esses danos ou defeitos, problemas de cantos faltantes, rachaduras, danos, contaminação e eletricidade estática na superfície do substrato de vidro e, em seguida, afetam a produção o rendimento e a qualidade do produto, além do uso da carga de transferência de rotação dos rolos, ainda apresentam problemas técnicos a serem superados. Estes problemas têm um impacto profundo na eficiência da produção de substratos de vidro de grande porte e precisam ser melhorados com urgência. Se a tecnologia de plataforma flutuante de ar sem contato puder substituir os problemas derivados da tecnologia tradicional de deslocamento de carga por contato, será uma solução eficaz. Vantagens do sistema flutuante de ar:
1. Fricção zero.
2. Desgaste zero.
3. Movimento reto e movimento de rotação são aplicáveis.
4. Operação silenciosa e suave.
5. Maior amortecimento.
6. Elimine o óleo.
A estrutura da plataforma flutuante de ar é composta por cerâmica nanoporosa embutida na base para formar uma câmara de vácuo. ar comprimido limpo, sem água e sem óleo, é inserido no espaço de modo de ar entre a superfície do rolamento e o trilho-guia flutuante de ar através do tubo de gás. O gás flui na folga do modo de ar para fazer a superfície do rolamento flutuar no trilho-guia flutuante de ar. O gás atua como lubrificante para mover ou transportar objetos sem atrito.
A construção para furo flutuante de ar comum:
a) Estrutura de estrangulamento do orifício
b) Estrutura porosa
O maior tamanho personalizado: comprimento 1600 mm, largura 1000 mm
O equipamento de transporte e deslocamento de carga sem contato visa principalmente melhorar os problemas causados pela tecnologia de manuseio tradicional depois que o substrato de vidro se torna maior, pois no processo de transporte e deslocamento de carga não está em contato direto com o objeto de operação, podendo evitar a ocorrência de fixação de poluentes, estresse, eletricidade estática e danos ao substrato de vidro. O material poroso, por outro lado, reduz significativamente o fluxo de gás, atinge uma pressão de ar uniforme e uma boa distribuição da almofada de ar e fornece altura de flutuação suficiente necessária para a operação.