Doheem
Produiten
0102030405
Porös Loftflossplattform mat der Lasttransfertechnologie vum Net-Kontaktmodus fir Halbleiterindustrie
D'traditionell Loftschwiewend Plattform adoptéiert allgemeng kleng Lach-Drossel, Torus-Drossel- oder Schlitz-Throttling-Technologie, déi duerch einfach Veraarbechtungstechnologie charakteriséiert ass, awer wann de Versuergungsluftdrock ännert, ass et einfach e Whistling-Phänomen ze produzéieren, de Sound ass scharf, an de Lager Kapazitéit schwankt och, wat net gëeegent ass fir roueg a stabil Drockaarbechtsëmfeld.
Traditionell TFT-LCD Glassubstrater ginn duerch Robotarme (Robots) an AGV (Automatiséierter guidéiert Gefier) Systemer duerchgefouert. Glas Substrat am Produktiounsprozess. Et ass eng Kontaktoperatioun mat der Laaschtverschiebungsplattform (oder Roller). Wann d'Glas Substrat a Kontakt mat der Laascht Verréckelung Plattform oder Roller ass, beréieren a Reiwung verursaacht dëse Schued oder Mängel Problemer vun vermësst Ecker, Rëss, Schued, Kontaminatioun, a statesch Elektrizitéit op der Uewerfläch vum Glas Substrat, an dann Afloss op d'Produktioun nozeginn an Produit Qualitéit, Nieft de Gebrauch vun Aachterbunnen Rotatioun Transfermaart Laascht, hunn nach technesch Problemer ze iwwerwanne. Dës Probleemer hunn e groussen Impakt op d'Produktiounseffizienz vu grousser Gréisst Glassubstrater a musse dringend verbessert ginn. Wann d'Net-Kontakt Loftflossplattform Technologie d'Problemer ersetzen kann aus der traditioneller Kontaktlastverschiebungstechnologie ersetzen, wäert et eng effektiv Léisung sinn. Virdeeler vum Air Floating System:
1. Null Reiwung.
2. Null zouzedrécken.
3. Riichtaus Bewegung, Rotatiounsbewegung sinn applicabel.
4. Roueg a glat Operatioun.
5. Méi héich Dämpfung.
6. Ueleg eliminéieren.
D'Struktur vun der Loftflossplattform besteet aus nano-poröse Keramik, déi an der Basis agebonne sinn fir eng Vakuumkammer ze bilden. propper kompriméiert Loft mat Waasser- an Ueleg-gratis ass Input an der Loft Modus Spalt tëscht der Lager Uewerfläch an der Loft schwiewend Guide Schinn duerch d'Gas Päif. De Gas fléisst am Loftmodus Spalt, fir datt d'Lagerfläch op der Loftflossleitungsschinn schwëmmt. De Gas handelt als Schmierstoff fir Objeten ouni Reibung ze beweegen oder ze transportéieren.
D'Konstruktioun fir gemeinsam Loft schwiewend Lach:
a) Orifice throttling Struktur
b) Porös Struktur
Déi gréisste personaliséiert Gréisst: Längt 1600mm, Breet 1000mm
Net-Kontakt Vermëttlungs- a Laaschtverschiebungsausrüstung ass haaptsächlech fir d'Problemer ze verbesseren, déi duerch traditionell Handhabungstechnologie verursaacht ginn nodeems de Glassubstrat méi grouss gëtt, well am Vermëttlungs- a Laaschtverschiebungsprozess net direkt a Kontakt mat dem Operatiounsobjekt ass, sou datt et d'Optriede kann vermeiden vun pollutant Uschloss, Stress, statesch Elektrizitéit a Schued un der Glas Substrat. Porös Material, op der anerer Säit, reduzéiert däitlech de Gasfloss, erreecht een eenheetleche Loftdrock a gutt Verdeelung vum Loftkëssen, a bitt genuch schwiewend Héicht néideg fir Operatioun.