Hjem
Produkter
0102030405
Porøs luftflydende platform med belastningsoverførselsteknologien i berøringsfri tilstand til halvlederindustrien
Den traditionelle luftflydende platform anvender generelt småhuls-drosling, torus-drosling eller spalte-drosling teknologi, som er kendetegnet ved simpel behandlingsteknologi, men når tilførselslufttrykket ændres, er det let at producere fløjtende fænomen, lyden er skarp, og lejet kapaciteten svinger også, hvilket ikke er velegnet til stille og stabilt pressede arbejdsmiljø.
Traditionelle TFT-LCD glassubstrater udføres af robotarme (Robots) og AGV (Automated guided vehicle) systemer. Glassubstrat i produktionsprocessen. Det er en kontaktoperation med lastforskydningsplatformen (eller rullen). Når glassubstratet er i kontakt med den lastforskydende platform eller rulle, forårsager berøring og friktion disse skader eller defekter problemer med manglende hjørner, revner, beskadigelse, forurening og statisk elektricitet på overfladen af glassubstratet, og påvirker derefter produktionen udbytte og produktkvalitet, ud over brugen af rullerotationsoverførselsbelastning, har stadig tekniske problemer at overvinde. Disse problemer har en dybtgående indvirkning på produktionseffektiviteten af store glassubstrater og er et presserende behov for at blive forbedret. Hvis den berøringsfri luftflydende platformteknologi kan erstatte problemerne fra den traditionelle kontaktbelastningsforskydningsteknologi, vil det være en effektiv løsning. Fordele ved Air Floating System:
1. Nul friktion.
2. Nul slitage.
3. Lige bevægelse, rotationsbevægelse er gældende.
4. Lydløs og jævn drift.
5. Højere dæmpning.
6. Fjern olie.
Strukturen af den flydende luftplatform er sammensat af nanoporøs keramik, der er indlejret i bunden for at danne et vakuumkammer. ren trykluft med vandfri og oliefri tilføres lufttilstandsspalten mellem lejefladen og den luftsvævende styreskinne gennem gasrøret. Gassen strømmer i lufttilstandsspalten for at få lejefladen til at flyde på den luftsvævende styreskinne. Gassen fungerer som et smøremiddel til at flytte eller transportere genstande uden friktion.
Konstruktionen til almindeligt flydende lufthul:
a) åbningsdrosselstruktur
b) Porøs struktur
Den største tilpassede størrelse: længde 1600 mm, bredde 1000 mm
Berøringsfrit transport- og lastskifteudstyr er hovedsageligt at forbedre problemerne forårsaget af traditionel håndteringsteknologi, efter at glassubstratet bliver større, fordi det i transport- og lastskifteprocessen ikke er direkte i kontakt med operationsobjektet, så det kan undgå forekomsten af forurenende vedhæftning, stress, statisk elektricitet og beskadigelse af glasunderlaget. Porøst materiale derimod reducerer gasstrømmen betydeligt, opnår ensartet lufttryk og god fordeling af luftpuden og giver tilstrækkelig flydehøjde, der kræves til drift.