0102030405
Porous ea lana anuu me ka enehana hoʻoili ukana o ka non-contact mode no ka semiconductor oihana
Hoʻohana maʻamau ka paepae ea ea maʻamau i ka throttling puka liʻiliʻi, torus throttling a i ʻole slit throttling ʻenehana, i ʻike ʻia e ka ʻenehana hana maʻalahi, akā i ka wā e hoʻololi ai ke kaomi ʻana o ka ea, ua maʻalahi ka hana ʻana i ke ʻano whistling, ʻoi aku ka ʻoi o ke kani, a me ke kani. Hiki ke loli ka mana, ʻaʻole kūpono ia no ke kaiapuni hana paʻa mālie a paʻa.
Lawe ʻia nā substrate aniani TFT-LCD kuʻuna e nā lima robot (Robots) a me AGV (Automated guided vehicle). Ke aniani substrate i ke kaʻina hana. He hana hoʻopili ia me ka paepae hoʻololi ukana (a i ʻole ka wili). Ke hoʻopili ʻia ka substrate aniani me ka paepae hoʻololi a i ʻole ka wili, hoʻopā a me ka friction ke kumu i kēia mau pōʻino a i ʻole nā pilikia pilikia o nā kihi nalo, ʻokiʻoki, pōʻino, contamination, a me ka uila static ma ka ʻili o ke aniani substrate, a laila pili i ka hana. ka hua a me ka maikaʻi o ka huahana, ma waho aʻe o ka hoʻohana ʻana i ka ukana hoʻololi o ka roller rotation, aia nō nā pilikia ʻenehana e lanakila ai. He hopena koʻikoʻi kēia mau pilikia i ka hana ʻana o nā substrate aniani nui a pono e hoʻomaikaʻi ʻia. Inā hiki i ka ʻenehana lele lele ʻole ke hoʻololi i nā pilikia i loaʻa mai i ka ʻenehana hoʻololi hoʻopili ukana maʻamau, he hopena kūpono ia. ʻO nā pono o ka ʻōnaehana lana ea:
1. ʻAi ʻole.
2. ʻAʻahu Zero.
3. Oni pololei, Pili ka holo ana.
4. Hana mālie a maʻalahi.
5. ʻO ka damping kiʻekiʻe.
6. E hoʻopau i kaʻaila.
Hoʻokumu ʻia ke ʻano o ka paepae lana ea me nā seramika nano-porous i hoʻokomo ʻia i loko o ke kumu e hana ai i kahi keʻena ʻūhā. Hoʻokomo ʻia ka ea paʻa maʻemaʻe me ka wai ʻole a me ka aila ʻole i loko o ke ʻano ea ʻokoʻa ma waena o ka ʻili o ka lawe ʻana a me ke kaʻa alakaʻi lana ea ma o ka paipu kinoea. Kahe ke kinoea i loko o ka ea mode awāwa i mea e lana ai ka ili o ke ea ma luna o ka ea lana lana alakai. Hana ke kinoea ma ke ʻano he lubricant no ka neʻe ʻana a i ʻole ka lawe ʻana i nā mea me ka ʻole o ke kuʻi.
ʻO ke kūkulu ʻana no ka lua lana maʻamau:
a) Hoʻolālā throttling orifice
b) ʻO ke ʻano pohihihi
ʻO ka nui i hoʻopilikino ʻia: lōʻihi 1600mm, ākea 1000mm
ʻO ka lawe ʻole ʻana a me ka hoʻololi ʻana i nā mea hana ka mea nui e hoʻomaikaʻi i nā pilikia i hana ʻia e ka ʻenehana lawelawe kuʻuna ma hope o ka lilo ʻana o ke aniani substrate i mea nui, no ka mea, i ka lawe ʻana a me ka hoʻololi ʻana o ka ukana ʻaʻole pili pono i ka mea hana, no laila hiki iā ia ke pale i ka hanana. ka hoʻopili ʻana i nā mea haumia, ke kaumaha, ka uila paʻa a me ka pōʻino i ka substrate aniani. ʻO nā mea porous, ma ka ʻaoʻao ʻē aʻe, e hoʻemi nui i ke kahe ʻana o ke kinoea, loaʻa i ke kaomi ea like ʻole a me ka hāʻawi maikaʻi ʻana i ka cushion ea, a hāʻawi i ke kiʻekiʻe lana e pono ai no ka hana.