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Piattaforma galleggiante ad aria porosa con tecnologia di trasferimento del carico in modalità senza contatto per l'industria dei semiconduttori
La tradizionale piattaforma flottante ad aria adotta generalmente la tecnologia di strozzatura a foro piccolo, di strozzatura a toro o di strozzatura a fessura, caratterizzata da una semplice tecnologia di elaborazione, ma quando la pressione dell'aria di alimentazione cambia, è facile produrre fenomeni di fischio, il suono è acuto e il cuscinetto anche la capacità varia, il che non è adatto ad ambienti di lavoro a pressione tranquilla e stabile.
I tradizionali substrati di vetro TFT-LCD vengono realizzati da bracci robotici (Robot) e sistemi AGV (Veicoli a guida automatizzata). Substrato di vetro nel processo di produzione. È un'operazione di contatto con la piattaforma di traslazione del carico (o rullo). Quando il substrato di vetro è in contatto con la piattaforma o il rullo di spostamento del carico, il contatto e l'attrito causano danni o difetti, problemi di angoli mancanti, crepe, danni, contaminazione ed elettricità statica sulla superficie del substrato di vetro, influenzando quindi la produzione la resa e la qualità del prodotto, oltre all'utilizzo della rotazione del carico di trasferimento a rulli, presentano ancora problemi tecnici da superare. Questi problemi hanno un profondo impatto sull’efficienza produttiva di substrati di vetro di grandi dimensioni e necessitano di essere urgentemente migliorati. Se la tecnologia della piattaforma flottante ad aria senza contatto può sostituire i problemi derivati dalla tradizionale tecnologia di spostamento del carico a contatto, sarà una soluzione efficace. Vantaggi del sistema flottante ad aria:
1. Attrito zero.
2. Usura zero.
3. Sono applicabili il movimento rettilineo e il movimento rotatorio.
4. Funzionamento silenzioso e regolare.
5. Maggiore smorzamento.
6. Eliminare l'olio.
La struttura della piattaforma galleggiante ad aria è composta da ceramiche nanoporose incorporate nella base per formare una camera a vuoto. l'aria compressa pulita senza acqua e senza olio viene immessa nello spazio in modalità aria tra la superficie del cuscinetto e la guida flottante dell'aria attraverso il tubo del gas. Il gas scorre nell'intercapedine in modalità aria per far galleggiare la superficie del cuscinetto sulla guida flottante in aria. Il gas funge da lubrificante per spostare o trasportare oggetti senza attrito.
La costruzione del foro galleggiante dell'aria comune:
a) Struttura di strozzamento dell'orifizio
b) Struttura porosa
La dimensione personalizzata più grande: lunghezza 1600 mm, larghezza 1000 mm
Le apparecchiature di trasporto e spostamento del carico senza contatto servono principalmente a migliorare i problemi causati dalla tecnologia di movimentazione tradizionale dopo che il substrato di vetro diventa più grande, perché nel processo di trasporto e spostamento del carico non è direttamente in contatto con l'oggetto dell'operazione, quindi può evitare il verificarsi di attacco di sostanze inquinanti, stress, elettricità statica e danni al substrato di vetro. Il materiale poroso, d'altro canto, riduce significativamente il flusso di gas, raggiunge una pressione dell'aria uniforme e una buona distribuzione del cuscino d'aria e fornisce un'altezza di galleggiamento sufficiente necessaria per il funzionamento.