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Poröse Luftschwebeplattform mit berührungsloser Lastübertragungstechnologie für die Halbleiterindustrie
Die herkömmliche Luft-Schwimmplattform verwendet im Allgemeinen die Technologie der Drosselung kleiner Löcher, der Torus-Drosselung oder der Schlitzdrosselung, die sich durch eine einfache Verarbeitungstechnologie auszeichnet. Wenn sich jedoch der Versorgungsluftdruck ändert, kann es leicht zu einem Pfeifphänomen kommen, das Geräusch ist scharf und das Lager Die Kapazität schwankt ebenfalls, was für eine ruhige und druckstabile Arbeitsumgebung nicht geeignet ist.
Herkömmliche TFT-LCD-Glassubstrate werden von Roboterarmen (Robotern) und AGV-Systemen (Automated Guided Vehicle) ausgeführt. Glassubstrat im Produktionsprozess. Es handelt sich um einen Kontaktvorgang mit der Lastverschiebeplattform (oder Rolle). Wenn das Glassubstrat mit der Lastverschiebungsplattform oder -rolle in Kontakt steht, verursachen Berührung und Reibung diese Schäden oder Defekte wie fehlende Ecken, Risse, Beschädigungen, Verunreinigungen und statische Elektrizität auf der Oberfläche des Glassubstrats und wirken sich dann auf die Produktion aus Ausbeute und Produktqualität müssen zusätzlich zur Verwendung der Rollenrotationsübertragungslast noch technische Probleme überwinden. Diese Probleme haben tiefgreifende Auswirkungen auf die Produktionseffizienz großformatiger Glassubstrate und müssen dringend verbessert werden. Wenn die berührungslose Luftschwebeplattform-Technologie die Probleme der herkömmlichen Kontaktlastverlagerungstechnologie ersetzen kann, ist sie eine wirksame Lösung. Vorteile des Air-Floating-Systems:
1. Keine Reibung.
2. Kein Verschleiß.
3. Gerade Bewegung und Rotationsbewegung sind anwendbar.
4. Leiser und reibungsloser Betrieb.
5. Höhere Dämpfung.
6. Öl entfernen.
Die Struktur der Luftschwebeplattform besteht aus nanoporöser Keramik, die in die Basis eingebettet ist und eine Vakuumkammer bildet. Saubere, wasser- und ölfreie Druckluft wird über die Gasleitung in den Luftmodusspalt zwischen der Lagerfläche und der Luftschwimmführungsschiene eingespeist. Das Gas strömt im Luftmodusspalt, um die Lagerfläche auf der Luftschwebeführungsschiene schweben zu lassen. Das Gas dient als Schmiermittel, um Gegenstände reibungsfrei zu bewegen oder zu transportieren.
Die Konstruktion für ein gemeinsames Luftschwimmloch:
a) Drosselstruktur der Öffnung
b) Poröse Struktur
Die größte kundenspezifische Größe: Länge 1600 mm, Breite 1000 mm
Berührungslose Förder- und Lastverlagerungsgeräte dienen hauptsächlich dazu, die durch die herkömmliche Handhabungstechnik verursachten Probleme zu verbessern, nachdem das Glassubstrat größer geworden ist, da beim Förder- und Lastverlagerungsprozess kein direkter Kontakt mit dem Betriebsobjekt besteht und so das Auftreten vermieden werden kann von Schadstoffanhaftung, Stress, statischer Elektrizität und Beschädigung des Glassubstrats. Poröses Material hingegen reduziert den Gasfluss erheblich, sorgt für einen gleichmäßigen Luftdruck und eine gute Verteilung des Luftpolsters und sorgt für die für den Betrieb erforderliche ausreichende Schwebehöhe.