多孔質チャック テーブル、別名: 多孔質セラミック真空吸盤金属 (またはセラミック) ベースと特殊な多孔質セラミックの組み合わせで構成され、内部の精密な空気伝導設計、...
リソグラフィー技術は、写真技術やフラットプリンティング技術をベースに発展した半導体の基幹技術です。